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岳晴雯

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇导电
  • 3篇纳米
  • 3篇溅射
  • 3篇反应磁控溅射
  • 3篇传导电子
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇SI
  • 2篇N
  • 1篇绝缘
  • 1篇NB
  • 1篇W

机构

  • 3篇西安交通大学

作者

  • 3篇吴汇焱
  • 3篇吴胜利
  • 3篇刘录平
  • 3篇岳晴雯
  • 3篇宋忠孝
  • 3篇徐可为
  • 3篇史彦慧
  • 3篇马凌志
  • 2篇刘纯亮
  • 1篇熊斯梁

年份

  • 3篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
Zr-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料，公开了一种Zr-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤：在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中，以玻璃为基体，同时以Zr靶与Si靶进行反应磁控溅射...
宋忠孝吴汇焱吴胜利徐可为史彦慧刘纯亮刘录平马凌志岳晴雯
文献传递
Nb-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料，公开了一种Nb-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤：在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中，以玻璃为基体，同时对Nb靶与Si靶进行反应磁控溅射...
宋忠孝吴汇焱吴胜利徐可为史彦慧刘纯亮刘录平马凌志岳晴雯
文献传递
W-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料，公开了一种W-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤：在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中，以玻璃为基体，同时以W靶与Si靶进行反应磁控溅射，沉...
宋忠孝史彦慧吴胜利徐可为熊斯梁刘录平吴汇焱马凌志岳晴雯
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