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史彦慧

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇SI
  • 3篇导电
  • 3篇纳米
  • 3篇溅射
  • 3篇反应磁控溅射
  • 3篇传导电子
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 3篇N
  • 2篇电子发射
  • 2篇NB
  • 2篇W
  • 1篇微观结构
  • 1篇显示器
  • 1篇膜制备
  • 1篇绝缘
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇表面传导电子...
  • 1篇表面传导电子...

机构

  • 5篇西安交通大学

作者

  • 5篇史彦慧
  • 3篇吴汇焱
  • 3篇吴胜利
  • 3篇刘录平
  • 3篇岳晴雯
  • 3篇宋忠孝
  • 3篇徐可为
  • 3篇马凌志
  • 2篇刘纯亮
  • 2篇熊斯梁

传媒

  • 1篇2010中国...

年份

  • 1篇2011
  • 4篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于N-Si-Nb薄膜的表面传导电子发射
本文提出溅射一种三元N-Si-Nb薄膜作为表面传导电子发射的导电薄膜，通过改变溅射的工艺参数能很好地控制导电薄膜的电阻，有利于获得满足后续电形成工艺要求的导电薄膜。实验结果表明，N-Si-Nb薄膜是一种潜在的表面传导电子...
熊斯梁史彦慧宋忠孝吴胜利张劲涛
关键词：电子发射工艺参数
文献传递
Nb-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料，公开了一种Nb-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤：在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中，以玻璃为基体，同时对Nb靶与Si靶进行反应磁控溅射...
宋忠孝吴汇焱吴胜利徐可为史彦慧刘纯亮刘录平马凌志岳晴雯
文献传递
Zr-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料，公开了一种Zr-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤：在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中，以玻璃为基体，同时以Zr靶与Si靶进行反应磁控溅射...
宋忠孝吴汇焱吴胜利徐可为史彦慧刘纯亮刘录平马凌志岳晴雯
文献传递
W-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法
本发明涉及表面传导电子发射薄膜材料，公开了一种W-Si-N纳米双相结构表面传导电子发射薄膜的制备方法。它包括以下步骤：在N<Sub>2</Sub>/Ar混合气体氛围中，以玻璃为基体，同时以W靶与Si靶进行反应磁控溅射，沉...
宋忠孝史彦慧吴胜利徐可为熊斯梁刘录平吴汇焱马凌志岳晴雯
文献传递
W-Si-N表面传导电子发射膜制备及其特性研究
史彦慧
关键词：表面传导电子发射显示器微观结构
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