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张建军
作品数:
61
被引量:5
H指数:2
供职机构:
北京科技大学
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相关领域:
化学工程
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合作作者
陈良贤
北京科技大学材料科学与工程学院
刘金龙
北京科技大学
魏俊俊
北京科技大学
李成明
北京科技大学
安康
北京科技大学
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一种垂直拼接制备大尺寸CVD金刚石及切割方法
本发明公开了一种垂直拼接制备大尺寸CVD金刚石及切割方法,属于金刚石材料制备领域。通过在多个垂直紧密排列的单晶金刚石籽晶侧面外延生长大尺寸CVD金刚石,然后通过激光切割工艺依次将籽晶与外延金刚石分离后得到大尺寸CVD金刚...
李成明
刘金龙
朱肖华
邵思武
赵云
屠鞠萍
陈良贤
魏俊俊
张建军
文献传递
一种具有阵列电极结构金刚石探测器的制备方法
本发明涉及一种具有阵列电极结构的金刚石探测器的制备方法,属于半导体技术领域,辐射探测器制备技术,具体涉及“电子级”单晶金刚石,金刚石辐射探测器电极结构及其制备方法。具体包括如下步骤:a)“电子级”(100)单晶金刚石的生...
刘金龙
牟恋希
胡婷婷
李成明
魏俊俊
陈良贤
郑宇亭
安康
张建军
欧阳晓平
一种单晶与多晶金刚石同步沉积的方法和装置
一种单晶与多晶共同沉积的方法和装置,属于微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石技术领域。本发明通过偏压的施加引导等离子体中的离子轰击金刚石表面,提高轰击效率和离子利用率增强表面原子迁移能力,消除单晶边缘生长的多晶以及多晶晶体...
李成明
杨鏊
刘宇晨
郭之健
陈良贤
魏俊俊
刘金龙
张建军
欧阳晓平
一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置
一种TM多模微波等离子体化学气相沉积装置,属于微波等离子体法化学气相沉积领域,具体涉及。包括:微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形石英窗、非圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气...
李成明
杨志亮
郭之健
刘宇晨
魏俊俊
陈良贤
刘金龙
张建军
欧阳晓平
一种金刚石膜的等离子体电弧沉积装置与方法
一种金刚石膜的等离子体电弧沉积装置与方法,属金刚石材料制备技术领域。采用具有多级磁场控制的直流电弧等离子体装置沉积大面积共形金刚石膜:通过稳弧磁场线圈产生的磁场实现对旋转等离子体电弧的稳定控制;扩展弧线圈在进一步稳定电弧...
李成明
郑宇亭
欧阳晓平
魏俊俊
陈良贤
刘金龙
张建军
文献传递
一种大尺寸金刚石功能结构件的制备与加工方法
一种大尺寸金刚石功能结构件的制备与加工方法,属于金刚石材料与加工领域。通过将多片金刚石焊接与激光雕刻成型,形成满足功能和结构应用的大尺寸金刚石材料,工艺步骤为:1、采用化学气相沉积的方法制备金刚石膜,再对满足力学与热学性...
刘金龙
李淑同
叶盛
王鹏
栗正新
黄珂
苗建印
陈良贤
魏俊俊
张建军
李成明
一种制备高质量金刚石的气体循环系统及其使用方法
一种制备高质量金刚石的气体循环系统及使用方法,属于材料制备领域。气体循环系统包括直流喷射等离子体化学气相沉积系统、气体供给系统、尾气循环系统、气体纯化系统。气体供给系统为两台直流喷射等离子体化学气相沉积装置提供原料气。尾...
李成明
安康
陈良贤
贾鑫
魏俊俊
张建军
刘金龙
一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置
一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置。包括:2.45GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形阶梯同轴天线、环形石英窗、圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气口、冷...
李成明
杨志亮
任飞桐
魏俊俊
陈良贤
刘金龙
张建军
安康
郑宇亭
一种大面积超高硬度金刚石膜的制备方法
一种大面积超高硬度金刚石膜的制备方法,属于超硬材料领域。本发明采用等离子体化学气相沉积,通过在常规碳氢等离子体环境中间歇性通入氮气和氩气实现扰动,打破等离子体平衡态生长,在金刚石膜中引入大量层错、孪晶缺陷,高密度缺陷实现...
刘金龙
屠菊萍
产思义
安康
魏俊俊
陈良贤
郑宇亭
张建军
欧阳晓平
李成明
一种采用双金刚石层实现GaN原始衬底转移的方法及应用
本发明公开了一种采用双金刚石层实现GaN原始衬底转移的方法及应用。方法包括:选择一种GaN晶圆,GaN晶圆具有原始衬底;在GaN晶圆生长面表面生长第一过渡层;在第一过渡层表面沉积第一CVD金刚石膜,作为临时载体;采用化学...
魏俊俊
贾鑫
李成明
陈良贤
刘金龙
张建军
高旭辉
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