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安康

作品数：40 被引量：1H指数：1
供职机构：北京科技大学更多>>
相关领域：化学工程一般工业技术文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 39篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 11篇化学工程
  • 3篇一般工业技术
  • 3篇文化科学
  • 1篇电子电信

主题

  • 30篇金刚石
  • 30篇刚石
  • 12篇单晶金刚石
  • 11篇等离子体化学...
  • 11篇化学气相
  • 11篇化学气相沉积
  • 9篇微波等离子体
  • 9篇微波等离子体...
  • 9篇金刚石膜
  • 8篇等离子体
  • 7篇单晶
  • 6篇石墨
  • 4篇镀覆
  • 4篇选择性刻蚀
  • 4篇天线
  • 4篇同轴
  • 4篇同轴天线
  • 4篇热阻
  • 4篇纳米
  • 4篇刻蚀

机构

  • 40篇北京科技大学
  • 2篇北京科技大学...

作者

  • 40篇安康
  • 37篇陈良贤
  • 37篇李成明
  • 37篇魏俊俊
  • 37篇刘金龙
  • 17篇张建军
  • 5篇赵云
  • 5篇黑立富
  • 1篇吕反修
  • 1篇朱瑞华

年份

  • 3篇2023
  • 11篇2022
  • 10篇2021
  • 4篇2020
  • 7篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
抑制金刚石膜研磨抛光裂纹萌生与扩展的夹具及使用方法
一种抑制金刚石膜研磨抛光裂纹萌生与扩展的夹具及使用方法。夹具包括底座、水槽、水槽引流孔、底座限位环、张紧环、缓冲垫、张紧螺栓；夹具底座上顶面为施加载荷面，下底面为加热后粘贴金刚石膜面，通过降温在该面与金刚石膜之间预制应力...
安康李成明邵思武黄亚博李世谕凃军磊贾燕伟刘金龙陈良贤魏俊俊张建军郑宇亭
文献传递
一种双端馈入微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积装置
一种双端馈入微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积装置，属于微波等离子体法化学气相沉积领域。本装置具有双端微波馈入及谐振结构沿衬底呈左右对称的特性，可在衬底左右两侧同时产生等离子体，利用电子回旋共振等离子体高电子能量、高电...
李成明杨志亮夏天任飞桐魏俊俊陈良贤刘金龙安康郑宇亭
一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置
一种环形阶梯同轴天线式微波等离子体化学气相沉积装置。包括：2.45GHz微波电源、矩形波导、三销钉调配器、短路活塞、同轴线模式转换器、环形阶梯同轴天线、环形石英窗、圆柱形微波谐振腔、测温窗口、观察窗口、进气口、排气口、冷...
李成明杨志亮任飞桐魏俊俊陈良贤刘金龙张建军安康郑宇亭
一种自支撑超薄金刚石膜的制备方法
一种自支撑超薄金刚石膜的制备方法，属于金刚石自支撑膜生长技术领域。工艺步骤为：a.以抛光后表面粗糙度低于30nm的金刚石膜为衬底，经化学气相沉积法在衬底表面沉积一层100‑3000nm超纳米金刚石薄层，引入高浓度的碳源，...
刘金龙朱肖华屠菊萍邵思武安康魏俊俊李成明陈良贤
一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法
一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法，属于金刚石激光晶体材料领域。首先采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)制备(100)金刚石单晶膜；随后经过激光平整化、抛光、酸洗以及丙酮和酒精清洗后获得热导率≥2000w/...
李成明黄亚博陈良贤刘金龙黄珂邵思武魏俊俊张建军安康郑宇亭
文献传递
一种在单晶金刚石表面获得自由原子层的方法
本发明公开了一种在单晶金刚石表面获得自由原子层的方法，属于半导体加工技术领域。其特征在于，在研磨抛光、酸洗及超声清洗后的单晶金刚石表面镀覆一层溶碳薄膜，然后依次进行高温热处理、稀酸浸泡、超声清洗和氮气吹干，从而在单晶金刚...
李成明原晓芦刘金龙魏俊俊邵思武朱肖华安康陈良贤
文献传递
一种具有阵列电极结构金刚石探测器的制备方法
本发明涉及一种具有阵列电极结构的金刚石探测器的制备方法，属于半导体技术领域，辐射探测器制备技术，具体涉及“电子级”单晶金刚石，金刚石辐射探测器电极结构及其制备方法。具体包括如下步骤：a)“电子级”(100)单晶金刚石的生...
刘金龙牟恋希胡婷婷李成明魏俊俊陈良贤郑宇亭安康张建军欧阳晓平
一种CVD金刚石辐照探测器的封装体
本实用新型公开了一种CVD金刚石辐照探测器的封装体。所述封装体，包括上下层陶瓷基印刷电路板(PCB)、中间绝缘层、上下层端盖、金属化后的CVD金刚石探测器。通过金线键合的方式连接金刚石探测器与PCB板间的电路，减少了电路...
刘金龙郭彦召李成明郑宇亭原晓芦安康魏俊俊陈良贤
文献传递
一种制备高质量金刚石的气体循环系统及其使用方法
一种制备高质量金刚石的气体循环系统及使用方法，属于材料制备领域。气体循环系统包括直流喷射等离子体化学气相沉积系统、气体供给系统、尾气循环系统、气体纯化系统。气体供给系统为两台直流喷射等离子体化学气相沉积装置提供原料气。尾...
李成明安康陈良贤贾鑫魏俊俊张建军刘金龙
一种制备高质量金刚石的气体循环系统
一种制备高质量金刚石的气体循环系统，属于材料制备领域。气体循环系统包括直流喷射等离子体化学气相沉积系统、气体供给系统、尾气循环系统、气体纯化系统。气体供给系统为两台直流喷射等离子体化学气相沉积装置提供原料气。尾气循环系统...
李成明安康陈良贤贾鑫魏俊俊张建军刘金龙
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