徐文祥
- 作品数：27 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种投影光刻机的硅片台对准机构
- 本发明是一种投影光刻机的硅片台对准机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副、光孔、传动杆、楔块、导轨副、导轨；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，楔块位于导轨上并与调节螺栓前端接触...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 步进投影数字光刻技术研究被引量：3
- 2008年
- 随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色。主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成像技术、照明均匀化处理技术、CCD同轴调焦及对准技术等,并利用该技术进行了分辨率测试和灰度图形曝光实验。实验结果表明该技术在微细加工领域达到国内先进水平。
- 徐文祥王建赵立新严伟
- 关键词：数字掩模数字光刻DMD
- 一种投影光刻机的硅片台微旋转机构
- 本发明是一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，拉簧的左端套在硅片台上，拉簧的右端挂在基座上，硅片台始终与调节螺...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。
- 徐文祥邢薇罗正全马平王建
- 一种动镜微调整方法
- 本发明是一种动镜微调整方法，它包括三个压电陶瓷驱动点，三个电容传感器探测点，动镜的解耦算法；该方法根据压电陶瓷驱动点的位置，电容传感器探测点的位置，经过推导得出动镜的解耦算法，从而给出驱动点应该执行的位移，以达到控制动镜...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 一种光刻机掩模刀口移动装置
- 一种光刻机掩模刀口移动装置，采用双层单元、两组独立组件结构，由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成，X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动，Y向狭缝刀口移动装置实现Y方向上下独立平动；X向狭缝刀口...
- 邢薇胡松赵立新罗正全马平徐文祥
- 文献传递
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。
- 徐文祥邢薇罗正全马平王建
- 文献传递
- 用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法
- 本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法，包括：扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动，Y向电机在Y轴向上做间歇步进，生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台在X轴向移动至扫描区域内，对生物芯片...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 一种动镜微调整方法
- 本发明是一种动镜微调整方法，它包括三个压电陶瓷驱动点，三个电容传感器探测点，动镜的解耦算法；该方法根据压电陶瓷驱动点的位置，电容传感器探测点的位置，经过推导得出动镜的解耦算法，从而给出驱动点应该执行的位移，以达到控制动镜...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 生物芯片扫描仪控制系统总体设计
- 2003年
- 简要介绍了生物芯片扫描仪控制系统的总体设计,并对其中关键技术单元,如荧光信号的探测预处理技术、系统零位的精确定位、工件台高速扫描控制技术等进行了详细的阐述。该控制系统及其关键技术单元经应用于我所新研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪,系统运行稳定、控制可靠,完全能满足整机系统的要求。
- 徐文祥罗正全
- 关键词：生物芯片滤光片快门光电倍增管
