李东玲
- 作品数：41 被引量：31H指数：3
- 供职机构：重庆大学更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 一种低g值微机械加速度锁存开关
- 本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构...
- 李东玲尚正国温志渝彭迎春佘引
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- 一种微机械横向振动加速度开关
- 本发明提供一种微机械水平横向振动加速度开关，涉及微机电系统领域，由绝缘衬底、锚点、凸台型结构、触头、折叠梁和检测质量块组成。所述锚点位于检测质量块的水平纵向方向两侧，固定于绝缘衬底上，通过折叠梁与检测质量块连接，使折叠梁...
- 温志渝彭迎春袁成伟李东玲佘引
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- 一种回收甘氨酸废母液中有用成分的方法
- 一种回收甘氨酸废母液中有用成分的方法，该方法包括把甘氨酸废母液酸化；加入有机溶剂与其充分混合；第一次固液分离，得第一道滤液和含有用成分的固体；溶解固体、通过浓缩、结晶分离出不同有用成分；将第一道滤液继续加入有机溶剂并充分...
- 陶长元范兴杜军刘作华李明松孙大贵刘仁龙于鲸贾成兰邱调军李东玲王玉珍
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- 硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元被引量：3
- 2013年
- 研究了基于氮化铝(AlN)薄膜的压电式风致振动微机电系统(MEMS)能量采集单元的制备工艺。采用脉冲直流磁控溅射的方法制备了具有(002)择优取向的AlN压电薄膜,并通过X射线衍射仪(XRD)及扫描电镜(SEM)表征了AlN薄膜的性能。测试结果表明:种子层材料、气体流量比和衬底温度等对AlN薄膜晶体取向及薄膜性能有重要影响。制备的具有(002)择优取向的AlN薄膜的衍射强度达到105count,半高宽为2.7°。对硅基AlN风致振动MEMS能量采集单元加工工艺流程进行优化,制备出了风致振动能量采集系统原理样机。风洞实验表明,在15.9m/s的风载荷作用下,MEMS能量采集单元的最大输出功率为1.6μW。该工艺亦可用于其他硅基AlN薄膜MEMS器件的制备。
- 尚正国李东玲温志渝赵兴强
- 关键词：风致振动衍射强度摇摆曲线
- PECVD法低温制备二氧化硅薄膜(英文)被引量：5
- 2013年
- 针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求,介绍了采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)技术,以SiH4和N2O为反应气体,低温制备SiO2薄膜的方法.利用椭偏仪和应力测试系统对制得的SiO2薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标进行了测试,探讨了射频功率、反应腔室压力、气体流量比等关键工艺参数对SiO2薄膜性能的影响.结果表明:SiO2薄膜的折射率主要由N2O/SiH4的流量比决定,而薄膜均匀性主要受电极间距以及反应腔室压力的影响.通过优化工艺参数,在低温260℃下制备了折射率为1.45～1.52、均匀性为±0.64%、应力在-350～-16MPa可控的SiO2薄膜.采用该方法制备的SiO2薄膜均匀性好、结构致密、沉积速率快、沉积温度低且应力可控,可广泛应用于集成电路以及MEMS器件中.
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- 关键词：二氧化硅折射率应力
- 一种改进型非交叉非对称C-T结构近红外微型光谱仪设计被引量：2
- 2021年
- 针对基于固定光栅和阵列探测器的常规微型近红外光谱仪成本高、光谱范围窄等问题,提出了一种基于集成扫描光栅微镜的双探测器微型近红外光谱仪。该系统采用自制的集成扫描光栅微镜作为核心分光部件,可同时实现扫描与分光功能,光学系统设计利用两个聚焦镜和两个InGaAs单管探测器的空间布局避免不同光路之间的相互干扰,可实现双通道同时、独立工作,此外双通道探测器前内置不同截止波长的带通滤色片消除光谱重叠。采用光线追迹法建立了理论模型计算光学系统的初始结构参数;利用ZEMAX完成了光学系统的优化设计并给出优化结构参数。测试结果表明,该仪器工作波长范围:800~2532 nm,分辨率:小于12 nm(800~1600 nm)、小于17 nm(1600~2532 nm),整体尺寸:145 mm×135 mm×75 mm,具有宽光谱、小体积、低成本等优势。
- 周颖黄云彪李东玲温泉
- 关键词：近红外宽光谱微型光谱仪
- 一种微机械加速度开关
- 本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块...
- 傅剑宇温志渝陈李李东玲尚正国
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- 一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件及其制备方法
- 本发明公开了一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件，由下至上依次包括硅衬底、绝缘层、下电极、第I氮化铝薄膜层、中间电极、第II氮化铝薄膜层和上电极，所述第I氮化铝薄膜层和第II氮化铝薄膜层的C轴与硅衬底(1)倾斜且两者倾...
- 尚正国李东玲
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- 一种基于空间域与形态学相结合的硅硅直接键合的质量检测方法
- 本发明公开了一种基于空间域与形态学相结合的硅硅直接键合的质量检测方法，主要进行了图像的预处理，针对离散的脉冲噪声和椒盐噪声使用中值滤波，去除电子电路噪声和由低照明度或高温带来的传感器噪声干扰；选择归一化四邻域和八邻域高通...
- 刘玉菲李东玲杜茂
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- 硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用(英文)
- 2015年
- 针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜(SEM)观测硅尖形貌。结果表明:在质量分数40%KOH腐蚀液中添加I2和KI,显著减小了削角速率,得到了呈"火箭尖"的硅尖阵列。各向同性腐蚀采用HNA腐蚀液,腐蚀的硅尖呈埃菲尔铁塔形。通过调整腐蚀液配比,氧化锐化后,硅尖尖端曲率半径小于15nm。该硅尖阵列已成功应用于真空微电子加速度计之中。
- 李东玲尚正国王胜强温志渝
- 关键词：湿法腐蚀
