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从不规则硅块钻取硅单晶棒的工具: 一种从不规则硅块钻取硅单晶棒的工具，它包括固定硅块的固定机构，钻取硅棒的套筒，所述的固定机构包括：装卡台，装卡台的一侧设一固定挡板，装卡台的另一侧设锁紧机构，它包括：装在装卡台上的滑轨，与滑轨配合的可移动挡板，挡板与螺杆...; 王学锋潘殿元戴小林吴志强张果虎周旗钢; 文献传递

液面位置对Φ300mm硅单晶固液界面形状影响的数值计算被引量：4: 2008年; 数值模拟技术已经成为分析和优化工业化晶体生长工艺必不可少的工具。本文利用有限元分析软件计算了300mm直拉硅单晶生长过程中,不同液面位置时的晶体固液界面形状,模拟计算考虑了热传导、辐射、气流等物理现象,分析了晶体长度和液面位置对晶体生长界面形状的影响,得出了随着晶体长度的增加固液界面的凸度会增大的规律。; 王学锋高宇戴小林吴志强张国虎周旗钢; 关键词：直拉硅单晶固液界面数值模拟

用于截断不规则的大直径单晶头、尾的工具: 一种用于截断不规则的大直径单晶头、尾的工具，它包括将硅棒头尾夹紧的固定机构，所述的固定机构包括：装卡环、与装卡环相接的定位螺母，以紧固螺母将定位螺母与安装在工作台上的紧固挡板固定。本实用新型的优点是：将原来只能够用木头等...; 王学锋戴小林吴志强张果虎周旗钢; 文献传递

扁挤压筒用固定挤压垫片有限元分析及结构参数优化设计: 该文在对圆筒用固定挤压垫片的主要结构形式进行分析的基础上,提出了扁挤压筒用固定挤压垫片的主要结构形式进行分析的基础上,提出了扁挤压筒用固定挤压垫片的一种三部件结构形式.以有限元分析软件ANSYS为计算平台,利用APDL语...; 王学锋; 关键词：扁挤压筒有限元分析优化设计

大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟被引量：14: 2004年; 数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具。提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟 ,通过对3 0 0mm单晶炉内热场的数值模拟计算 ,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布。; 王学锋翟立君周旗钢王敬戴小林吴志强; 关键词：直拉硅单晶数值模拟

扁挤压筒用固定挤压垫片的设计方案及受力分析被引量：2: 2001年; 在对传统的活动挤压垫片和圆筒用固定挤压垫片的主要结构的分析基础上 ,根据扁挤压筒的特定生产条件 ,提出了扁挤压筒用固定挤压垫片的一种设计方案 ,并进行了受力分析 ,得到了结构参数优化后的应力分布和变形情况。这可以对开展扁挤压筒挤压技术的研究及扁挤压筒用固定挤压垫片的设计与实际应用提供参考。; 王学锋谢水生刘静安; 关键词：扁挤压筒应力分析

勾形磁场下提拉法生产单晶硅的数值模拟被引量：16: 2004年; 本文给出了提拉单晶硅时,勾形磁场强度的计算公式,并对单晶硅在有无勾形磁场情况下熔体内流场和氧的浓度分布进行了数值模拟,计算出磁场作用下磁场强度和洛伦兹力及有无磁场时流函数、垂直截面处的速度场和氧的浓度分布。通过分析表明,勾形磁场能使流动更为平稳,能有效地降低熔体内及生长界面氧的浓度,并对产生这一现象的机理作了理论分析。; 宇慧平隋允康张峰翊王学锋; 关键词：单晶硅提拉法磁场强度洛伦兹力

采用延时修正法实施QUICK格式模拟提拉单晶体的生长被引量：5: 2003年; 为了数值模拟提拉(又名Czochralski)法获得单晶体的生长过程,本文采用有限容积法离散控制方程,采用非均匀的交错网格避免不合理的振荡压力场,采用三阶精度QUICK(Quadratic Upwind Interpolation of Convective Kinematics)格式离散对流项,采用延时修正来实施QUICK格式获得满足主对角占优的代数方程组,采用SIMPLE(Semi-implicit Method for Pressure Linked Equations)算法耦合压力和速度场,给出了基于上述方法的方程、算法,并发展了程序,计算了Wheeler标准问题,计算结果与文献相当一致,同时本算法能模拟计算高葛拉晓夫数时的流动,显示出非均匀网格QUICK格式模拟晶体生长的优越性;另外本文将这一算法运用到单晶硅的数值模拟中,计算结果令人满意。; 宇慧平隋允康张峰翊王学锋; 关键词：提拉法单晶体晶体生长数值模拟

用于减少硅单晶棒截断崩边的工具: 本实用新型涉及一种加工半导体硅单晶棒截断时，特别是大直径硅单晶棒截断时减少其崩边的工具，用于硅单晶棒的截断。它包含垫槽、二个夹紧块和一个直杆、直杆依次穿过二个夹紧块的中间孔，所说的垫槽为两边带有凹槽的垫槽，使二个夹紧块可...; 王学锋吴志强戴小林周旗钢张果虎万关良王敬杨卫国; 文献传递

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王学锋