田士兵
- 作品数：16 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 一种硅表面抗反射纳米阵列结构的制备方法
- 一种硅表面抗反射纳米阵列结构的制备方法：将硅片放入ICP系统中，在基础真空1.0×10<Sup>-6</Sup>Torr，温度-100℃～-140℃，气体流量比(SF<Sub>6</Sub>/O<Sub>2</Sub>)...
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- 文献传递
- 紫外辐照增强纳米金刚石锥场发射特性
- 作为一种多功能纳米材料,纳米金刚石被广泛应用在电子学、光子学以及量子力学的研究中。此外,由于纳米金刚石晶界上存在大量的sp2杂化键,为电子输运提供了大量的通道,使得纳米金刚石具在冷阴极场发射的应用中具有巨大的优势。本文中...
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- 文献传递
- 光学曝光方法及其用于制备硅材料竖直中空结构的方法
- 本发明提供一种用于形成微纳空穴结构的光学曝光方法，包括以下步骤：1)选取具有掩膜图形的掩膜板，所述掩膜图形为能通过光照产生泊松亮斑的几何实心图形或其阵列；2)将掩膜板设置于待曝光的正光刻胶的上方进行曝光，其中图形阴影部分...
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- 变温拉曼光谱研究衬底对单层石墨烯的束缚作用
- <正>石墨烯自2004年发现以来,由于其奇特的物理性质和巨大的应用前景,吸引了研究人员的广泛关注[1]。石墨烯,尤其是悬空的石墨烯,在各种电子器件有着广泛的应用前景,如传感器、晶体管和共振器等
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- 关键词：拉曼光谱石墨烯热膨胀系数
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- 一种制备自封闭纳米通道的方法
- 本发明公开了一种制备自封闭纳米通道的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤A：对衬底进行清洗并烘干，在清洗好的衬底表面依次生长支撑层、牺牲层和自封闭层；步骤B：在所述自封闭层上采用光刻的方法制备相应的光刻胶图形；步骤C：采...
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- 悬空石墨烯对其表面金纳米膜形貌的影响被引量：1
- 2018年
- 石墨烯与金属间的相互作用是石墨烯器件研究中的关键问题之一,其涉及石墨烯器件的电学接触、锂离子电池石墨烯电极、石墨烯金属光学等方面.本文重点研究了不同层数的悬空石墨烯表面金纳米膜退火前后的形貌演化过程,观测到两个重要的现象:1)排除基底影响后的悬空石墨烯层数可以通过金纳米膜的形貌特征进行确认,但其随层数的变化趋势与有基底支撑的石墨烯正好相反;2)退火处理后的悬空石墨烯上的金纳米膜形貌演化过程具有类似水滴在荷叶上的行为.对悬空石墨烯表面金属纳米膜在退火前后的形貌变化规律及其现象背后的物理机理进行了详细的讨论和理论解释.
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- 关键词：拉曼
- 光学曝光方法及其用于制备硅材料竖直中空结构的方法
- 本发明提供一种用于形成微纳空穴结构的光学曝光方法，包括以下步骤：1)选取具有掩膜图形的掩膜板，所述掩膜图形为能通过光照产生泊松亮斑的几何实心图形或其阵列；2)将掩膜板设置于待曝光的正光刻胶的上方进行曝光，其中图形阴影部分...
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- 一种硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料及其制备方法
- 本发明提供的一种硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料及其制备方法，硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料包括：表面具有硅纳米锥阵列的衬底；在硅纳米锥阵列的表面上形成有片状的少层石墨烯纳米片层。制备方法包括如下步骤：1）以感应耦合等离子...
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- 基于泊松亮斑效应的紫外曝光制备纳米针尖阵列
- 2023年
- 使用电子束曝光或者聚焦离子束设备制备纳米针尖,虽然精度高但不能大面积快速制备;使用紫外曝光设备可以大面积快速制备,但制备精度达不到纳米量级。该文基于泊松亮斑效应,提出在常规紫外曝光设备中制备大面积、可控的纳米针尖阵列的方法。通过调控掩膜版图形和曝光剂量得到了直径小于100 nm的光刻胶的纳米针尖阵列,然后用反应离子刻蚀将光刻胶图案转移到硅衬底上得到了直径小于50 nm、径高比达1∶10的超细纳米针尖阵列。泊松亮斑曝光能极大地提高紫外曝光机的分辨率,该方法可操作性强并可大面积制备,是一种可行的曝光技术。
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- 关键词：菲涅尔衍射泊松亮斑紫外曝光
- 一种等离子体沉积及刻蚀系统
- 一种等离子体沉积及刻蚀系统，包括：腔体、设置在腔体内的阴极载物台，上栅极，加热装置，其中，还包括用于冷却上栅极的冷却装置；用于为上栅极、加热装置以及加热装置、阴极之间提供偏压的偏压电源。其通过采用多根平行、均匀分布的灯丝...
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