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窦燕巍

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇CMOS
  • 1篇MEMS技术

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇崔梦
  • 1篇窦燕巍
  • 1篇胡明
  • 1篇田斌

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CMOS MEMS技术的现状及展望被引量：4
2004年
简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位。主要介绍了pre-CMOS,interme-diate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOSMEMS工艺。详细讨论了CMOSMEMS今后将面临的挑战及其未来应用领域,最后,根据国内情况对我国CMOSMEMS的发展提出了建议。
胡明崔梦田斌窦燕巍
关键词：CMOSMEMS技术
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共1页<1>
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