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胡逝粱

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇蒙特卡罗
  • 1篇晶粒
  • 1篇晶粒生长
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇丁洪
  • 1篇胡逝粱
  • 1篇安之南
  • 1篇戎咏华

传媒

  • 1篇第九届全国固...

年份

  • 1篇2010
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排序方式：
纳米薄膜晶粒生长的厚度效应
本论文采用各向异性蒙特卡罗方法模拟不同厚度的纳米薄膜退火过程中的晶粒尺寸演化，并采用磁控溅射方法制备纳米多晶薄膜，从理论模拟和实验两方面对纳米薄膜中的厚度效应进行研究。理论模拟和实验结果均表明，Burke方程不能准确描述...
安之南丁洪胡逝粱戎咏华
关键词：晶粒生长蒙特卡罗磁控溅射
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