袁娇娇
- 作品数：26 被引量：16H指数：3
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项中央高校基本科研业务费专项资金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信轻工技术与工程化学工程更多>>
- 石墨烯压力传感器的研究进展被引量：7
- 2013年
- 对几种石墨烯压力传感器的研究进展进行了综述,包括压力传感器结构、原理及其电学、力学与机械等性能的研究,并指出了各种石墨烯压力传感器的优缺点。从中可以发现,石墨烯压力传感器比硅压力传感器具有更优异的性能,包括高量程、高灵敏度以及纳米级尺寸。这些优点预示石墨烯压力传感器将有望在更多场合得到应用,如在生物医学领域可被用来检测人体内部血压或者组织压力。目前,石墨烯压力传感器的研究主要是理论与实验研究,实现商业化还需要一段时间,但是石墨烯的制备已实现商业化,石墨烯压力传感器也将走进人们的生活。
- 蒋圣伟师帅袁娇娇方靖徐春林汪学方
- 关键词：石墨烯压力传感器高灵敏度纳米级
- 一种利用锡须生长填充微孔的方法
- 本发明提供一种利用锡须生长填充微孔的方法，依次在基片上加工有盲孔或通孔的表面沉积粘附层和金属层，在盲孔内电镀沉积金属直至盲孔开口处，沉积的金属内部自然形成空洞；在盲孔或通孔表面以及相邻盲孔或通孔之间旋涂光刻胶；腐蚀掉旋涂...
- 刘胜汪学方吕植成袁娇娇徐春林师帅方靖
- 文献传递
- 一种非接触式金属电迁移测量方法和装置
- 本发明公开了一种非接触式金属互连线电迁移测量方法，具体为：使用平行光照射标定用金属互联线，同时采用四探针检测标定用金属互联线的电阻；建立四探针检测到的标定用金属互联线的电阻与标定用金属互联线的表面反射光强的对应关系；使用...
- 刘胜吕植成汪学方袁娇娇王宇哲
- 文献传递
- 一种超薄芯片的制备方法
- 本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了...
- 刘胜汪学方吕植成袁娇娇蔡明先
- 文献传递
- 一种表面贴装用气密性金属外壳
- 一种表面贴装用气密性金属外壳，属于芯片金属封装器件，解决现有插装式金属外壳引出线较长，易导致绝缘子产生裂纹从而气密性失效，且绝缘子气密性较差的问题。本实用新型包括管座、绝缘子、引出线、管帽，管座用于安放芯片，引出线上端用...
- 汪学方刘胜蒋圣伟师帅袁娇娇方靖
- 文献传递
- 一种LED倒装芯片的圆片级封装结构、方法及产品
- 本发明公开了一种LED倒装芯片的圆片级封装结构、方法及产品，包括LED倒装芯片、硅基板、透镜、印刷电路板和热沉；硅基板正面加工有放置芯片的凹腔，凹腔底部的长度与芯片的长度相同；硅基板的反面加工有两组通孔，两通孔与凹腔相连...
- 刘胜吕植成汪学方袁娇娇刘孝刚杨亮陈飞方靖曹斌
- 文献传递
- 一种超薄芯片的制备方法
- 本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了...
- 刘胜汪学方吕植成袁娇娇蔡明先
- 硅晶圆微盲孔金属填充方法及装置
- 本发明公开了一种硅晶圆微盲孔金属填充方法，将加工有多个小孔的孔板置于硅晶圆的表面，孔板上的小孔与硅晶圆的微盲孔位置一一对应；将多个金属小球洒在孔板上，并用毛刷扫动使得孔板的每一个小孔内有一个金属小球，清除孔板上多余的金属...
- 刘胜汪学方吕植成袁娇娇徐明海师帅王宇哲
- 文献传递
- 一种悬浮石墨烯压力传感器的制造与建模被引量：6
- 2014年
- 提出了一种适用于纳机电系统(NEMS)的悬浮石墨烯压力传感器,并结合传统微机械加工工艺提出了压力传感器的制造过程。利用拉曼光谱表征了机械剥离法得到的不同厚度的石墨烯薄膜,验证了石墨烯"G"峰与"2D"峰的强度与薄膜厚度有关。基于薄膜膨胀试验方法,给出了悬浮于矩形、方形与圆形3种空腔的石墨烯薄膜的最大变形与压差的关系,并分别计算了3种形状下薄膜的压力灵敏度,可知矩形情况下单层石墨烯薄膜的压力灵敏度最大,当矩形宽度、方形边长或圆形直径越大,薄膜厚度越小时,压力灵敏度越高,计算表明:这种压力传感器具有高灵敏度。
- 蒋圣伟师帅袁娇娇方靖徐春林汪学方
- 关键词：石墨烯压力传感器拉曼光谱压力灵敏度
- 铜互连线电迁移和锡须生长研究
- 随着微电子技术的发展，集成电路的特征尺度不断减小，超大规模集成电路（very large scale integrated circuit，VLSI）互连线金属薄膜的横截面积也越来越小，其承受的电流密度急剧增加。目前，金...
- 袁娇娇
- 关键词：集成电路
- 文献传递
