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谢国勇

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 4篇生物模板
  • 4篇纳米
  • 4篇纳米压印
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂结构
  • 2篇压印
  • 2篇真空蒸镀
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇纳米压印技术
  • 2篇金属薄膜
  • 2篇抗反射
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀技术
  • 2篇昆虫
  • 2篇昆虫复眼
  • 2篇工艺过程
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀

机构

  • 6篇北京大学
  • 2篇国家纳米技术...

作者

  • 6篇谢国勇
  • 4篇刘忠范
  • 4篇张锦
  • 4篇章国明

年份

  • 3篇2008
  • 3篇2006
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法
一种应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法，其特征在于它包括以下三个步骤：(1)应用刻蚀技术制备纳米压印模板；(2)应用纳米压印技术复制悬臂图形；(3)应用各向同性反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构。本发明的优越...
谢国勇章国明刘忠范张锦
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应用纳米压印和反应离子刻蚀术制备纳米悬臂结构的方法
一种应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法，其特征在于它包括以下三个步骤：(1)应用刻蚀技术制备纳米压印模板；(2)应用纳米压印技术复制悬臂图形；(3)应用各向同性反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构。本发明的优越...
谢国勇章国明刘忠范张锦
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生物模板纳米压印方法
本发明的生物模板纳米压印方法主要工艺过程如下：首先在硅片表面涂一层压印胶并干燥，将生物模板具有纳米结构的一面向下置于压印胶表面，并在其上盖另一硅片，然后将之放入纳米压印设备在加热加压条件进行压印，退模后于压印胶表面得到与...
刘忠范谢国勇章国明张锦
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制备抗反射薄膜的生物模板法
本发明提供了一种以自然界存在的生物纳米结构为模板，通过二级复制制备抗反射薄膜的方法。所用的生物模板包括昆虫复眼和翅膀表面所具有的抗反射光子晶体，首先以生物纳米结构为模板真空蒸镀金属，于金属薄膜上得到与生物模板相对应的负型...
刘忠范谢国勇章国明张锦
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生物模板纳米压印方法
本发明的生物模板纳米压印方法主要工艺过程如下：首先在硅片表面涂一层压印胶并干燥，将生物模板具有纳米结构的一面向下置于压印胶表面，并在其上盖另一硅片，然后将之放入纳米压印设备在加热加压条件进行压印，退模后于压印胶表面得到与...
刘忠范谢国勇章国明张锦
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制备抗反射薄膜的生物模板法
本发明提供了一种以自然界存在的生物纳米结构为模板，通过二级复制制备抗反射薄膜的方法。所用的生物模板包括昆虫复眼和翅膀表面所具有的抗反射光子晶体，首先以生物纳米结构为模板真空蒸镀金属，于金属薄膜上得到与生物模板相对应的负型...
刘忠范谢国勇章国明张锦
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