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章国明

作品数：10 被引量：3H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 8篇纳米
  • 5篇纳米压印
  • 4篇生物模板
  • 3篇碳纳米管
  • 3篇纳米管
  • 3篇光刻
  • 2篇压印
  • 2篇掩模
  • 2篇掩膜
  • 2篇真空蒸镀
  • 2篇碳管
  • 2篇碳纳米管薄膜
  • 2篇图形化
  • 2篇纳米压印技术
  • 2篇金属薄膜
  • 2篇抗反射
  • 2篇昆虫
  • 2篇昆虫复眼
  • 2篇工艺过程
  • 2篇光刻工艺

机构

  • 7篇北京大学
  • 3篇首都师范大学

作者

  • 10篇章国明
  • 6篇刘忠范
  • 4篇张锦
  • 4篇谢国勇
  • 2篇焦丽颖
  • 2篇吴迪
  • 2篇邵会波

传媒

  • 1篇纳米科技
  • 1篇2005(第...

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2008
  • 3篇2006
  • 2篇2005
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
热压印刻蚀技术被引量：1
2005年
纳米压印技术是一种高分辨率、廉价、高效的纳米结构制备技术。它既继承了传统光刻技术所具有的并行性，又同时拥有传统光刻技术不易达到的纳米结构制备能力，这为今后纳米结构的广泛应用提供了良好的条件。文章介绍了纳米热压印技术中核心工艺流程，包括：模板的制备、抗粘层的制备、压印过程中温度与压力的影响、反应离子刻蚀，并且给出了利用纳米热压印技术制备的光栅结构，最后展望了纳米压印技术的前景。
章国明邵会波
关键词：纳米压印技术纳米结构制备
制备抗反射薄膜的生物模板法
本发明提供了一种以自然界存在的生物纳米结构为模板，通过二级复制制备抗反射薄膜的方法。所用的生物模板包括昆虫复眼和翅膀表面所具有的抗反射光子晶体，首先以生物纳米结构为模板真空蒸镀金属，于金属薄膜上得到与生物模板相对应的负型...
刘忠范谢国勇章国明张锦
文献传递
纳米压印技术以及仿生结构的制备
纳米压印技术是在20世纪90年代中期发展起来的一种新型的微纳结构制备技术。它继承了传统光刻技术的并行性，因此具有与传统光刻技术可比拟的高产率。同时又继承了直写式纳米结构制备技术(例如扫描探针刻蚀技术)的高分辨性。纳米压印...
章国明
关键词：纳米压印结构仿生
文献传递
制备抗反射薄膜的生物模板法
本发明提供了一种以自然界存在的生物纳米结构为模板，通过二级复制制备抗反射薄膜的方法。所用的生物模板包括昆虫复眼和翅膀表面所具有的抗反射光子晶体，首先以生物纳米结构为模板真空蒸镀金属，于金属薄膜上得到与生物模板相对应的负型...
刘忠范谢国勇章国明张锦
文献传递
图形化碳纳米管薄膜或阵列的方法
本发明公开了一种图形化碳纳米管薄膜或阵列的方法。该方法，包括如下步骤：1)在生长基底上制备碳纳米管薄膜或阵列；2)在石英基底上制备钛金属层；3)将所述步骤2)制备得到的钛金属层氧化为二氧化钛层；4)在石英基底上制备铬光掩...
刘忠范章国明吴迪焦丽颖
文献传递
热压印刻蚀技术
本文介绍了纳米热压印技术中核心工艺流程,包括:模板的制备、抗粘层的制备、压印过程中温度与压力的影响、反应离子刻蚀,并且给出了利用纳米热压印技术制备的光栅结构,最后展望了纳米压印技术的前景。
章国明邵会波
关键词：光刻纳米压印
文献传递
生物模板纳米压印方法
本发明的生物模板纳米压印方法主要工艺过程如下：首先在硅片表面涂一层压印胶并干燥，将生物模板具有纳米结构的一面向下置于压印胶表面，并在其上盖另一硅片，然后将之放入纳米压印设备在加热加压条件进行压印，退模后于压印胶表面得到与...
刘忠范谢国勇章国明张锦
文献传递
生物模板纳米压印方法
本发明的生物模板纳米压印方法主要工艺过程如下：首先在硅片表面涂一层压印胶并干燥，将生物模板具有纳米结构的一面向下置于压印胶表面，并在其上盖另一硅片，然后将之放入纳米压印设备在加热加压条件进行压印，退模后于压印胶表面得到与...
刘忠范谢国勇章国明张锦
文献传递
图形化碳纳米管薄膜或阵列的方法
本发明公开了一种图形化碳纳米管薄膜或阵列的方法。该方法，包括如下步骤：1)在生长基底上制备碳纳米管薄膜或阵列；2)在石英基底上制备钛金属层；3)将所述步骤2)制备得到的钛金属层氧化为二氧化钛层；4)在石英基底上制备铬光掩...
刘忠范章国明吴迪焦丽颖
文献传递
碳纳米管的光催化剪裁方法研究
碳纳米管是一种具有特殊结构的准一维纳米碳材料，它是由碳原子形成的石墨烯片层卷成的无缝、中空的管体，具有特殊的电学和机械性质，例如对于金属性碳纳米管而言有着良好的导电性，而对于半导体性碳纳米管而言则是构建纳米级FET器件的...
章国明
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