任兆杏
- 作品数：90 被引量：409H指数：12
- 供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信核科学技术一般工业技术更多>>
- 用于电离层环境模拟器的ECR等离子体源被引量：11
- 2001年
- 为了经济地考验空间电离层等离子体对处于其中的飞行器表面的作用 ,需要在地面建立等离子体环境模拟器。本文就是为空间电离层环境模拟器研制的扩散型极低气压、低电子温度和极低密度的紧凑型电子回旋共振等离子体源的研制。结果显示 :在等离子体源下游 5 0cm处 ,在 10 -2 ～ 10 -3 Pa范围内获得了电子温度低于 5eV ,密度在 10 4 ～ 10 6cm-3 范围内的较为均匀的等离子体束流 。
- 吕庆敖任兆杏梁荣庆程绍玉
- 关键词：电子回旋共振等离子体源飞行器环境模拟器空间环境
- 大气压等离子体清洗介绍
- 一、大气压等离子体清洗的原理随着大气压等离子体技术的不断成熟,人们进行了大气压等离子体清洗的探索,取得了鲜为人知的进展,在某些应用条件下可能比低气压等离子体方便。例如,用氧基等离子体照射基板,可以使附着于基板上的有机污染...
- 任兆杏孟月东
- 文献传递
- ECR PECVD制备用于平面光波导的SiO<,2>薄膜及掺Ge-SiO<,2>/Si类薄膜的研究
- 微波电子回旋共振等离子本增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上制备用于平面光波导的SiO<,2>薄膜，研究了沉积速率与工艺参数这间的关系，并对射频偏置对成膜特性的影响作了初步实验研究。
- 张劲松任兆杏梁荣庆隋毅峰刘卫
- 关键词：电子回旋共振平面光波导
- 电磁发射技术
- 1992年
- 电磁发射技术是一项重要的高新技术,具有广泛的军事和民用前景。如何发展这项技术是我国的当务之急。
- 任兆杏
- 关键词：电磁炮
- ECR-PECVD制备UHF大功率管浅结芯片中Si_3N_4钝化膜的应用研究被引量：5
- 1998年
- 利用ECR－PECVD技术将Si3N4薄膜成功地应用于UHF大功率晶体管浅结芯片中的钝化膜，使芯片电特性有较好改善，完全避免了芯片后加工工序中划伤造成的芯片报废现象，提高了成品率，分析了Si3N4膜的钝化机理。
- 陈俊芳王卫乡任兆杏丁振峰王道修宋银根
- 关键词：ECR-PECVD钝化膜功率晶体管氮化硅
- 射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量被引量：8
- 2004年
- 利用双探针对ECR PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量。同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR PECVD等离子体参数的影响。结果表明,在ECR PECVD等离子体装置中,基片射频偏置对电子温度有影响,而等离子体密度主要由微波功率所决定。
- 许沭华任兆杏沈克明
- 关键词：ECR-PECVD电子温度等离子体密度微波功率
- 七厘米双潘宁离子源
- 任兆杏刘育坤王永诚陈行倩宁兆元张束清阎继红何建军
- 离子源已达到指标：氢离子引出电流4.2埃；引出电压28KV；束用(半)0.6埃；脉宽20ms。可供实验应用。本类型离子源是应聚变研究的需要发展的，在其它领域的应用正中显露之中。
- 关键词：
- 关键词：聚变反应离子加速器
- 电源对介质阻挡放电（DBD）激发准分子（XeCl）辐射的影响被引量：7
- 2002年
- 本文对电源参数如电压幅值、频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl 紫外 (30 8nm)辐射的影响进行了实验研究。结果表明 ,UV辐射随电压幅度的增加而增强 ,但效率下降 ;提高频率 ,增加了放电次数 ,导致UV辐射的增强 ;此外 ,在较高的频率下 ,电压上升沿变陡 ,使得电子获得的能量主要用于原子的激发和电离。正、负电压放电的不对称源于电极结构的不对称而引起的放电过程的差异 ,负电压内电极可向放电管中馈入更多的能量 ;
- 徐金洲梁荣庆任兆杏程黎放童惠君
- 关键词：介质阻挡放电准分子XECL电源气体放电
- 电磁打桩机
- 本实用新型公开一种由锤头和驱动系统组成的电磁打桩机。锤头由上护套、扼铁和连接头组成，圆柱体状中空的扼铁内有线圈和电枢，连接头侧壁上相对开有两孔，孔内有光电传感器；驱动系统由充电机，电容器组，开关和控制器等组成，可周期性地...
- 程健冯士芬任兆杏
- 文献传递
- 热电子与热离子共存时的电荷裸露效应
- 1996年
- 本文采用简晰的平板模型，在局域近似下讨论了热电子、热离子共存时它们对低频交换模的影响。
- 丁振峰任兆杏邱励俭
- 关键词：等离子体磁镜
