邬钦崇
- 作品数：73 被引量：337H指数：11
- 供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中国科学院院长基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 碳钢微波等离子体渗氮研究被引量：1
- 1999年
- 微波（２４５ＧＨｚ）使放电管（φ３２ｍｍ）产生等离子体，在其同直径渗氮管下游区活性原子浓度高、寿命长［１］，处理金属材料无尺寸和位置限制，４５、２０钢渗氮后微观分析发现，其表面没有化合物白层（ε、γ、γ’相），Ｘ射线衍射（ＸＰＤ）分析，仅存在αＦｅ相结构，Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）分析材料表面有Ｎ元素。测出渗氮试样比未渗氮试样的显微硬度高８０％。其原因为αＦｅ峰值位移变化，材料晶格参数改变，表面氮扩散层引起显微硬度提高。
- 陈强王守国邬钦崇
- 关键词：渗氮显微结构碳钢微波等离子体
- 氧气对MWPCVD制备金刚石膜的影响被引量：8
- 2001年
- 在水冷反应室式微波等离子体化学气相沉积装置中以混合的CH4 H2 O2 为反应气体 ,研究了O2 浓度对制备金刚石膜的影响。实验发现 ,很低浓度的O2 会显著促进金刚石的沉积 ,并稍稍抑制非晶C的沉积 ,因而沉积膜中非晶C的含量急剧下降 ;较高浓度的O2 会同时抑制金刚石和非晶C的沉积 ,但由于抑制金刚石的作用更强烈 ,沉积膜中非晶C的含量反而有所升高。另外 ,O2 的存在 。
- 舒兴胜邬钦崇梁荣庆
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜氧气非晶碳
- 电子回旋共振等离子体技术被引量：14
- 1996年
- 微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术，它具有优良的综合指标，提高了微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平．文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理。
- 丁振峰邬钦崇任兆杏
- 关键词：电子回旋共振等离子体源微波传输
- 纳米晶体化学太阳电池的研究被引量：77
- 1997年
- 纳米晶体化学太阳电池在太阳光下的光电转换效率目前已约达１０％，对其发展、结构和工作原理进行了综述。
- 戴松元王孔嘉邬钦崇王瑜
- 关键词：纳米晶体太阳能电池
- X模耦合微波的ECR溅射装置的放电特性被引量：1
- 1998年
- 探讨采用真空波导及反常波模式（X模）微波输入技术，以避免微波石英窗口的污染，并研究了这种微波耦合模式装置中等离子体的放电特性．
- 汪建华袁润章邬钦崇任兆杏
- 关键词：ECR溅射X模式放电微波
- 温度扫描电阻测量装置
- 沙健董远达邬钦崇顾春晖
- 该装置主要用于在温度扫描时测量固态相变过程中电阻的瞬态变化。采用稳恒直流电压降法测定电阻，用电流换向等措施消除温差电势，感应电势与环境气氛的影响，用微计算机和数据采集器及接口电路来程序控制温度扫描与电阻和温度的自动测量，...
- 关键词：
- 关键词：电阻测量扫描温度计
- 臭氧发生器应用技术现状被引量：13
- 1999年
- 概述了臭氧在环境保护中的重要作用,介绍了臭氧发生器应用现状及其处理技术的进展,强调了高效臭氧发生器在废水处理中的现实意义。
- 刘明海邬钦崇俞国扬
- 关键词：臭氧臭氧发生器废水处理
- WC-Co硬质合金上高质量金刚石薄膜的制备被引量：3
- 2001年
- 采用微波等离子体化学气相沉积法在硬质合金基体上制备金刚石薄膜 .研究了铜过渡层和酸蚀脱钴两种基体前处理工艺以及在施加铜过渡层的情况下 ,不同的沉积气压和基片温度对金刚石薄膜的质量的影响 .结果表明 :在施加铜过渡层后 ,在适中的沉积条件下 (沉积气压 6.0 k Pa,基片温度约为 780℃ )
- 马志斌汪建华邬钦崇王传新
- 关键词：金刚石薄膜硬质合金
- ECR等离子体源的两维计算机模拟研究
- 采用自治微波功率吸收的两维混合模型，数值模拟了ECR等离子体源中的各种物理参量，重点研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（等离子体密度、等离子体位势）、以及基板表面的离子电流密度、离子能量、方向角分布的影响，并讨论了E...
- 刘明海胡希伟邬钦崇俞国扬
- 关键词：ECR等离子体数值模拟
- 采用磁控管方式溅射的电子回旋共振等离子体沉积技术的研究被引量：3
- 1999年
- 将磁控管方式溅射用于微波ＥＣＲ等离子体沉积技术。在低气压和低温下沉积了高度Ｃ轴取向的ＺｎＯ薄膜，其膜的沉积速率比普通ＥＣＲ溅射中所得到的速率大得多，并且在Φ１２ｃｍ的膜区域内显示出良好的均匀性。
- 汪建华袁润章邬钦崇任兆杏喻宪辉
- 关键词：溅射ECR等离子体氧化锌薄膜
