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冯士猛
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
理学
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合作作者
赵强
中国科学院上海光学精密机械研究...
汤兆胜
中国科学院上海光学精密机械研究...
范正修
中国科学院上海光学精密机械研究...
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中国科学院上...
作者
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范正修
2篇
汤兆胜
2篇
冯士猛
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赵强
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光学学报
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2001
1篇
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在(111)Si基底上直接溅射合成PbTiO_3薄膜以及Pb损失的抑制
被引量:1
2000年
利用射频磁控溅射系统,采用 Ti、Pb组合靶,以 O2为反应气体,在( 111) Si基板上直接沉积 PbTiO3薄膜,通过对不同基底温度以及沉积后的薄膜在不同的氧气氛中来用不同的降温速率降温制备。通过对所得的薄膜的结构和组成以及光学和电学特性的测试、分析得出:在535℃时沉积、溅射后直接充入 107Pa的氧气并且以 3℃/min的速率降至室温,制备出了性能较好的具有钙钛矿结构的PbTiO3薄膜。并对薄膜的形成机理进行了探讨。
赵强
汤兆胜
冯士猛
范正修
关键词:
PBTIO3
铁电薄膜
冷却速率
对蓝宝石衬底上射频溅射的PbTiO_3薄膜的光学特性研究
2001年
使用射频溅射和组合靶在蓝宝石 (α Al2 O3)基底上制备出了结构较好的PbTiO3 薄膜 ,提出了一种利用透射光谱来简单有效地分析弱吸收薄膜的光学特性及与光学相关的其它物理特性的方法。得出了该薄膜在 40 0nm~2 40 0nm区域内的折射率、消光系数等参量与波长的变化关系和与之相符合的柯西 (Cauchy)色散公式 ,并通过外推的方法估算出了薄膜的光学能量带隙为 3.6 5eV。
赵强
范正修
冯士猛
汤兆胜
关键词:
弱吸收
铁电薄膜
射频溅射
蓝宝石衬底
透射光谱
钛酸铅
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