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周道
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20
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沈阳新松机器人自动化股份有限公司
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温燕修
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
李学威
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
徐方
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
曲道奎
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
何以刚
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
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沈阳新松机器...
作者
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李学威
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周道
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温燕修
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曲道奎
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侧翻大气机械手末端执行装置
一种侧翻大气机械手末端执行装置,包括一静手指、一夹持装置、一滑台气缸和一摆动气缸;所述滑台气缸具一移动端,该移动端通过一滑台摆缸连接架和所述摆动气缸连接在一起;所述摆动气缸具一输出轴,该输出轴通过一联轴器和一花键轴相连;...
何书龙
徐方
温燕修
李学威
管莉娜
周道
郑鋆
张铁
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侧翻式机械手
一种侧翻式机械手,包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指,所述手指直接固定在旋转轴上,所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴,所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起,所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转...
徐方
曲道奎
李学威
周道
温燕修
何书龙
郑鋆
王鲁非
文献传递
旋转限位机构
一种旋转限位机构,包括支架、主动轮、张紧轮、柔性缆绳及张紧弹簧,所述主动轮与张紧轮通过转动轴转动固定在所述支架上,所述柔性缆绳一端固定在所述主动轮的圆周上,另一端固定在所述张紧轮的圆周上,所述张紧弹簧的一端固定在所述张紧...
何以刚
温燕修
徐方
李学威
王金涛
王凤利
管莉娜
周道
文献传递
多层回转限位机构
一种多层回转限位机构,所述多层回转限位机构包括一筒,所述筒内从下到上依次同心设置一压盖、一成对轴承压盖和一轴承压盖,所述压盖和所述成对轴承压盖之间设有转动传导装置,所述转动传导装置使所述压盖的转动达到设定角度后开始带动所...
郑鋆
曲道奎
徐方
李学威
张鹏
温燕修
周道
边弘晔
文献传递
机械手末端执行器
一种机械手末端执行器,包括有手指及固定钳口,固定钳口固定在手指上,所述机械手末端执行器还包括有连接块、导向轴及随动导轮,连接块滑动安装在手指上,导向轴固定在连接块上,随动导轮转动固定在连接块上,手指能够相对导向轴的轴线转...
管莉娜
曲道奎
徐方
李学威
王金涛
温燕修
周道
边弘晔
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一种真空吸附式机械手
本发明公开了一种真空吸附式机械手,包括大臂壳体、第一空心轴、小臂壳体、第二空心轴、下摆套、气管、护线盘、气管固定环、第一气管压板、第二气管压板、第一气管分隔架、第二气管分隔架、第三气管分隔架以及线卡。大臂壳体中设有气管固...
徐方
何书龙
周道
温燕修
曲道奎
李学威
文献传递
具有导气环的机械手
一种机械手,包括有上手指腕轴及下手指腕轴,下手指腕轴套在上手指腕轴上,上手指腕轴与下手指腕轴中分别具有上手指气路与下手指气路,上手指腕轴与下手指腕轴之间设有导气环,上手指腕轴、下手指腕轴以及导气环能够共同绕一转轴相对转动...
徐方
管莉娜
曲道奎
李学威
温燕修
周道
张铁
何以刚
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压力调整装置
一种压力调整装置,包括一收容室,所述收容室具有一底部,并在所述底部上设有若干与外界连通的通风孔,所述收容室内装设有独立送风单元及调整结构,所述调整结构具有上侧和下侧,所述调节结构设有若干通孔作为出风孔,所述调整结构的上侧...
郑鋆
曲道奎
徐方
李学威
张鹏
温燕修
周道
边弘晔
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预对准装置
一种预对准装置,包括一用以夹持物体的夹持结构,所述夹持结构包括夹持件及转动件,所述夹持件及转动件之间连接一第一驱动器,所述物体夹持在所述夹持件及转动件之间,所述转动件连接一第二驱动器,所述第二驱动器驱使所述转动件绕一第一...
周道
何以刚
曲道奎
徐方
李学威
张鹏
温燕修
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预对准机与机械手相对坐标系的标定方法
本发明公开了一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法,所述标定方法包括:第一、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系,机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系;第二、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′...
徐方
吕光
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张鹏
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