崔峰
- 作品数：166 被引量：152H指数：6
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程交通运输工程电子电信更多>>
- 用于PCR扩增的可更换部件的功能模块
- <B>本发明公开一种用于PCR扩增的可更换部件的功能模块，其中：以可更换的微流控玻璃片为主要反应区域，以外界泵入的恒温流体到液控恒温玻璃片为各温区热源，通过流体进出玻璃片与外界进行试剂交换，以中转的流体通道的结构侧柱为固...
- 张卫平伍择希陈文元陈俊杰李金凤吴校生崔峰刘武
- 锥齿轮四翼式扑翼微型飞行器
- 一种锥齿轮四翼式扑翼微型飞行器，包括：两对扑动机构、机架和电机驱动组件。扑动机构包含一个主动锥齿轮和两个从动锥齿轮以及四连杆机构，主动锥齿轮固定于机架底部中央，两个从动锥齿轮位于机架前后两侧分别与主动锥齿轮啮合并带动四连...
- 张卫平谭小波柯希俊陈文元邹才均刘武崔峰吴校生
- 文献传递
- 基于DSP的静电悬浮转子微陀螺多自由度控制系统设计
- 2008年
- 本文给出了一种静电悬浮转子微陀螺,提出了控制系统组成方案,设计了多自由度控制系统,给出了硬件和软件组成。在实际应用中证明该控制器是有效的。
- 肖奇军陈文元崔峰李胜勇张卫平肖奇军
- 关键词：DSP
- 金属电容式微加速度计
- 一种金属电容式微加速度计，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上、下基体，上、下极板，质量块，支撑梁，上、下止动块，支撑柱，输入输出引脚。上极板和上止动块位于上基体上，下极板和下止动块位于下基体上，质量块同时承担中间极板...
- 陈文元李凯吴校生张卫平崔峰
- 文献传递
- 压电微固体模态陀螺的安装技术被引量：2
- 2015年
- 压电微固体模态陀螺(PMMG)利用压电PZT长方体的某高阶共振模态作为参考振动,是一种抗冲击、抗震动能力强的新型全固态陀螺。获得优化的参考振动振型对提高陀螺性能至关重要,但是大多数文献都没有涉及到封装对参考振动的影响。利用有限元方法(FEM)分析了压电振子安装时支撑点位置与接触面积对参考振动的影响,分析结果表明:相对于接触面积的变化,支撑点位置的变化对陀螺参考模态的影响更大。该研究结果为压电微固体模态陀螺的安装方法提供了理论基础。
- 韦念吴校生刘武陈文元崔峰张卫平
- 关键词：有限元方法压电陀螺
- 压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器
- 本发明公开一种压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器，其中：压电基体上下表面的左右两侧分布有驱动电极和参考电极、加热电阻、绝缘层和吸附膜，这些部分在压电基体上下表面的左右两侧完全对称，在吸附膜的左右两侧布置驱动电极和参考电...
- 吴校生郑福陈文元张卫平崔峰刘武
- 文献传递
- 压电圆盘微机械陀螺
- 本发明公开一种压电圆盘微机械陀螺，包括：一个具有支撑柱的圆盘谐振子；驱动电极、检测电极、监测电极和平衡电极各三个。所述三个驱动电极、三个检测电极、三个监测电极和三个平衡电极分别沿圆盘谐振子端面一周分布配置。本发明利用圆盘...
- 张卫平许仲兴关冉张弓成宇翔陈文元吴校生刘武崔峰
- 文献传递
- 摇动质量块压电双轴微陀螺
- 本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，...
- 张卫平许仲兴关冉张弓成宇翔陈文元吴校生刘武崔峰
- 文献传递
- 静电悬浮电晕驱动旋转微陀螺
- 本发明涉及一种利用静电悬浮电晕驱动旋转的微陀螺，本发明包括上下定子、微转子、周边结构构成一个笼式结构，转子置于这个笼式结构的中间。定子包括旋轴向悬浮和检测电极、公共电极。定子固联在衬底上。由于静电力的作用，微转子悬浮在上...
- 张卫平刘凯陈文元刘武戴福彦吴校生崔峰
- 文献传递
- Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀被引量：5
- 2008年
- 为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。
- 崔峰肖奇军吴校生张卫平陈文元赵小林
- 关键词：湿法腐蚀掩膜凹坑电镀
