陈文元
- 作品数：523 被引量：478H指数：11
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺
- 一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料...
- 张卫平陈文元刘武赵小林
- 文献传递
- MEMS微陀螺仪研究进展
- 随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，...
- 成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生
- 关键词：MEMS
- 圆环波动微机械陀螺及其制备方法
- 本发明公开一种圆环波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆环谐振子；位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极；两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极；以及四...
- 张卫平许仲兴成宇翔关冉张弓唐健陈文元
- 文献传递
- 压电型微固体模态陀螺的相位差检测
- 2010年
- 压电型微固体模态陀螺是一种利用压电材料制作的新型固态微陀螺,具有高抗冲击、抗震动能力。陀螺主要部分为一压电质量块,研究发现其存在某阶特殊的振动模态作为原振动,通过感应哥氏力将敏感方向上输入的角速度转化为电信号。陀螺上设置有多个电极,各电极在工作状态下输出压电电压信号,通过检测电路测量信号间的相位差分析陀螺状态。TL714高速比较器将正弦信号转换为方波信号,通过TMS320F2812芯片采集数据进行处理,实现了对两路频率范围100kHz～600kHz信号的相位差检测。实验结果验证了该检测方法的有效性。
- 何程鹄吴校生陈文元张卫平
- 关键词：微陀螺相位差比较器压电模态
- 高温超导稳悬永磁转子微陀螺
- 一种微机电系统领域的高温超导稳悬永磁转子微陀螺，液氮杜瓦盖设置在液氮杜瓦之上，液氮设置在液氮杜瓦盖和液氮杜瓦围成的腔内，陀螺下壳体通过陀螺支撑柱设置在液氮杜瓦上。陀螺下定子、陀螺上定子均由高温超导体、氮化硅绝缘材料、定子...
- 张卫平陈文元段永瑞
- 文献传递
- 具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪
- 本发明公开一种微机电技术领域的具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪，由磁致伸缩振子和驱动电极，输出电极，模态检测电极组成。振子材料为压电材料，为具有正方形通孔的“回”型柱状体。所有电极关于磁致伸缩振子对称分布。利用磁...
- 张卫平卢奕鹏陈文元
- 文献传递
- 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析
- 2015年
- 基于MEMS加工技术,提出了一种加热、传感电极和反应腔室可分离的PCR芯片结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用PDMS材料,芯片的制造成本大为降低。利用COMSOL软件对设计的PCR芯片进行了温度场仿真分析,并用红外热像测温仪(NEC R300)对微制造的芯片温度场分布进行了测量。测量结果表明芯片结构能得到较好的温度均匀性,为后续PCR芯片扩增实验提供了可靠的依据。
- 曹井通崔峰陈伟郭兆鑫陈文元
- 关键词：MEMSPDMS
- 基于微机电系统的单向步进反向自锁的电磁驱动器
- 一种基于微机电系统的单向步进反向自锁的电磁驱动器。属于微机电系统和安全保险装置领域。本发明包括：定子，硬磁软磁混合转子，机械储能器、转轴及外壳，其连接方式为：硬磁软磁混合转子安装在转轴上，转轴安装在定子的轴承上，在转轴上...
- 张卫平陈文元赵小林周狄张琛段永瑞
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- 一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
- 本发明提供了一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括：一个单晶硅基底、八个均匀分布式电极、一个微型半球谐振子、一个双端固定支撑柱和一个图形化盖板，其中：所述双端固定支撑柱的下端通过沉积的方式与所述基底连接、...
- 张卫平唐健汪濙海刘亚东成宇翔孙殿竣邢亚亮陈文元
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- 压电驱动扑翼微飞行器三自由度平台
- 本发明提供了一种压电驱动扑翼微飞行器三自由度平台，包括底座、X向凸形滑块、Z向回形滑块和Y向凹形滑块，其中：底座通过螺纹孔与微飞行器固定；X向凸形滑块与底座上的X向导轨配合，X向凸形滑块上的螺纹孔通过螺钉调整和固定X向凸...
- 张卫平柴双双柯希俊张伟邹才均邹阳叶以楠胡楠陈文元
- 文献传递
