巨志高
- 作品数：3 被引量：12H指数：3
- 供职机构：西北工业大学材料学院更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 金刚石衬底上红外增透及抗氧化膜系的制备与性能研究
- 本文主要研究了AlN薄膜的制备工艺对其结构、光学及高温抗氧化性能的影响规律,为将氮化铝用作金刚石红外增透及抗氧化膜系奠定基础.1.利用OPFCAD软件在金刚石衬底上设计了AlN/Si和AlN/Ge增透保护膜系.2.系统地...
- 巨志高
- 关键词：CVD金刚石增透膜膜系设计磁控溅射氮化铝
- 文献传递
- CVD金刚石的高温氧化及其保护被引量：4
- 2005年
- 化学气相沉积(CVD)金刚石具有优异的机械、光学和热学性能,成为高速长波红外窗口的首选材料,但是当高速飞行时,由于空气动力加热会产生很高的温度而使其迅速遭受氧化,甚至完全失效。简要概述了 CVD 金刚石高温氧化现象及机理、抗氧化保护的最新研究进展。
- 巨志高刘正堂李阳平
- 关键词：CVD金刚石高温氧化热学性能红外窗口高速飞行空气动力
- CVD金刚石衬底上抗氧化、增透膜的制备与性能被引量：4
- 2010年
- 采用射频磁控反应溅射法在化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)的金刚石衬底上制备了AlN薄膜以及AlN/Si和AlN/Ge膜。通过X射线衍射分析了衬底加热温度对薄膜微结构的影响和薄膜高温下的氧化行为。结果表明:在衬底加热温度低于380℃时制备的AlN薄膜为非晶态,480℃时AlN薄膜为六方多晶。AlN薄膜在800℃热暴露后开始氧化,900℃时基本被氧化为Al2O3。在CVD金刚石上制备的AlN/Si和AlN/Ge膜都能提高金刚石在长波红外波段(8～10μm)的透过性能,单面最大增透分别为8%和3%。镀有AlN/Ge膜的CVD金刚石在800℃高温热暴露实验中,有AlN/Ge膜保护的金刚石表面未发生刻蚀。高温下AlN/Ge膜对金刚石有很好的保护作用,同时增透效果没有明显下降。
- 闫锋刘正堂巨志高
- 关键词：射频磁控反应溅射氮化铝薄膜抗氧化增透
