式田光宏
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：名古屋大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学更多>>
- 一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法被引量：2
- 2007年
- 介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础。
- 李雪萍丁桂甫安藤妙子式田光宏佐藤一雄
- 关键词：微机电系统力学性能
- 一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
- 坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.本文介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以...
- 李雪萍丁桂甫安藤妙子式田光宏佐藤一雄
- 关键词：微机电系统机械性能坡莫合金磁性材料
- 文献传递
- 一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
- 2006年
- 坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成:坡莫合金拉伸试件以光刻和电镀技术成型,其余的加载机构以湿法蚀刻制成.实验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础.
- 李雪萍丁桂甫安藤妙子式田光宏佐藤一雄
- 关键词：微机电系统机械性能坡莫合金
