张敬尧
- 作品数：8 被引量：15H指数：2
- 供职机构：山东师范大学物理与电子科学学院更多>>
- 发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
- Au／SiO2复合纳米颗粒膜及SiO2纳米线的制备
- 2009年
- 室温下用磁控溅射法在Si（111）衬底上生成Au／SiO2复合纳米颗粒膜，并分不同温度进行退火处理。1000℃退火时自组装生成空间分布均匀（直径约为70nm）的Au纳米点，从而用自组装生长方法制备了生长一维纳米材料的模板，然后，将Au催化剂模板在1100℃下退火处理，生成纳米线，SEM和TEM测试，制备的SiO2纳米线直径约为100nm，长度约为4μm，表面光滑，直且粗细均匀。
- 李玉国卓博世张敬尧崔传文张月甫扬爱春
- 关键词：磁控溅射
- 磁控溅射Si衬底制备SiO/_2和ZnO纳米结构
- 半导体纳米线由于其独特的电学和光学性质越来越受到人们的关注。人们先后发现了多孔硅和纳米晶硅显著的发光特性,使纳米结构的的硅衬底应用于高速场效应晶体管、生物和化学传感器、低能量消耗的发光设备等光电子装置上。这项应用最大的特...
- 张敬尧
- 文献传递
- p型ZnO及ZnO基发光器件研究进展被引量：3
- 2007年
- 六角纤锌矿结构ZnO是一种应用广泛的直接宽带隙(3.36 eV,300 K)半导体材料,其优异的光电、压电等性能使其成为近10年来全世界半导体研究的热点。综述了自1997年以来ZnO的p型掺杂以及ZnO基发光器件方面的研究成果,比较了不同方法制备的p型ZnO材料和发光器件的性能差异,分析了造成各种差异的原因,并针对当前研究提出了一些建议和预测。
- 王建波李玉国张秋霞夏继周张月甫崔传文张敬尧
- 关键词：半导体技术P型掺杂ZNO薄膜发光器件
- Si基GaN薄膜的制备方法及结构表征被引量：2
- 2008年
- 分别采用射频磁控溅射、热壁化学气相沉积(CVD)、电泳沉积法制备GaN薄膜。利用扫描电镜(SEM)、荧光光谱仪对样品进行结构、形貌和发光特性的分析比较。射频磁控溅射方法中,把SiC中间层沉淀到Si衬底上,目的是为了缓冲由GaN外延层和Si衬底的晶格失配造成的应力。结果证实了SiC中间层提高了GaN薄膜的质量。热壁化学气相沉积法制备GaN晶体膜时,选择H2作反应气体兼载体,有利于GaN膜的形成。电泳沉积法显示所得样品为六方纤锌矿结构的GaN多晶薄膜。结果表明:溅射法制备的GaN薄膜结晶效果好;CVD法制备时GaN薄膜应用范围广;电泳沉积法操作方便、简单易行。
- 张敬尧李玉国崔传文张月甫卓博世
- 关键词：GAN薄膜SI基溅射化学气相沉积电泳沉积
- 热氧化法制备ZnO纳米棒及其结构表征被引量：2
- 2010年
- 在无催化剂条件下,采用热蒸发Zn源,以N2为载气体,在SiO2衬底上反应沉积制备出单晶氧化锌纳米棒。XRD研究表明纳米棒为结晶完好的纤锌矿结构,并且为非定向生长,非定向生长的氧化锌纳米棒减弱了棒之间的屏蔽效应,表现出较好的场发射效果,为未来场发射电子器件的实际应用提供了可靠依据。
- 李玉国卓博士张月甫张敬尧崔传文杨爱春
- 关键词：氧化锌纳米棒热蒸发
- RF磁控溅射微波介质陶瓷薄膜的影响因素及其应用
- 2008年
- RF磁控溅射是目前应用最广泛的一种溅射沉积方法。由于陶瓷溅射的现象相当复杂,目前尚无完整的溅射理论可以用来分析溅射现象,所以通常通过实验来确定溅射过程中的影响因素。综述了RF磁控溅射陶瓷薄膜过程中的影响因素,阐述了微波介质陶瓷薄膜的应用前景,并指出了今后的发展方向。
- 崔传文石锋李玉国张月甫张敬尧
- 关键词：影响因素
- 纳米氧化锌的制备技术及其应用前景被引量：8
- 2008年
- 综述了纳米氧化锌的主要制备方法,结构表征和材料特性.介绍了液相和气相合成法等不同制备方法的反应特征、产物形貌及其性能.分析了水热法、模板法、溶胶凝胶法和化学气相氧化法的生长机理.讨论了纳米氧化锌的应用前景,并对纳米氧化锌的后续研究重点提出了一些建议.
- 张月甫李玉国薛成山张敬尧崔传文
- 关键词：纳米氧化锌
- Au/SiO_2复合纳米颗粒膜的制备及退火行为研究
- 2007年
- 室温下用磁控溅射法在Si(111)衬底上生成Au/SiO2复合纳米颗粒膜。用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射方法(XRD)对不同温度退火后的Au/SiO2复合薄膜的表面形貌、微观结构进行了表征。SEM结果表明,随着退火温度升高,Au纳米颗粒先形成大的聚集后出现分布均匀的超微颗粒。XRD结果显示700℃时Au的衍射峰最强,随后峰强有所减弱,这与SEM检测结果相吻合。另外实验结果证实在1000℃退火时自组装生成空间分布均匀(直径约为70nm)的Au纳米点,可以用来作为生长一维纳米材料的模板。
- 张秋霞李玉国王建波张敬尧崔传文张月甫
- 关键词：磁控溅射自组装
