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徐东波

作品数：22 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 17篇光刻
  • 17篇光刻机
  • 16篇像差
  • 15篇波像差
  • 13篇投影物镜
  • 13篇物镜
  • 12篇主成分
  • 4篇定心
  • 4篇光强
  • 4篇仿真
  • 3篇噪声
  • 3篇最小二乘
  • 3篇滤波
  • 2篇掩模
  • 2篇噪声标准
  • 2篇照明
  • 2篇频谱
  • 2篇最小二乘拟合
  • 2篇位置估计
  • 2篇物理仿真

机构

  • 22篇中国科学院上...
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 22篇徐东波
  • 21篇王向朝
  • 17篇闫观勇
  • 14篇段立峰
  • 11篇杨济硕
  • 10篇彭勃
  • 1篇李思坤

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 6篇2013
  • 8篇2012
  • 5篇2011
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法
一种基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法，该方法利用主成分分析和多元线性回归分析的方法，建立了空间像光强分布与泽尼克系数之间的二阶关系模型，并利用非线性最小二乘法，优化算得表征投影物镜成像质量的波像差值。与基于空间像...
杨济硕王向朝闫观勇徐东波
文献传递
基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法
一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法。本发明采用6个方向孤立空作检测标记，通过对检测标记空间像的线性拟合来得到波像差。本发明首先建立描述0°孤立空空间像与泽尼克像差关系的线性拟合矩阵以及描述孤...
闫观勇王向朝徐东波
文献传递
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法被引量：4
2013年
提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统计分析,获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。以噪声标准差为权重因子,利用加权最小二乘法对空间像进行主成分分解,可以实现对空间像的自适应、无损降噪,从而得到更为精确的主成分系数和泽尼克系数。使用光刻仿真软件PROLITH的仿真结果表明,在相同的噪声水平下,0.1λ像差幅值内,与基于空间像主成分分析的波像差检测技术相比,精度提高30%以上。在使用光刻实验平台测量Z8调整量的实验中,该方法的精度更高。
杨济硕李思坤王向朝闫观勇徐东波
关键词：成像系统光刻机加权最小二乘法降噪
基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法
一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法，是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重，再将噪声的权重转化为主成份的权重，...
杨济硕王向朝彭勃徐东波闫观勇段立峰
文献传递
基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法
一种基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法，该方法利用主成分分析和多元线性回归分析的方法，建立了空间像光强分布与泽尼克系数之间的二阶关系模型，并利用非线性最小二乘法，优化算得表征投影物镜成像质量的波像差值。与基于空间像...
杨济硕王向朝闫观勇徐东波
文献传递
基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法
一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法。本发明采用6个方向孤立空作检测标记，通过对检测标记空间像的线性拟合来得到波像差。本发明首先建立描述0°孤立空空间像与泽尼克像差关系的线性拟合矩阵以及描述孤...
闫观勇王向朝徐东波
文献传递
光刻机空间像噪声评估及滤波方法
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本...
徐东波王向朝彭勃闫观勇段立峰
光刻机空间像噪声评估及滤波方法
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤波，得到滤除噪声的空间像。本...
徐东波王向朝彭勃闫观勇段立峰
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自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法
一种自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法，首先采集待测空间像，然后得到与待测空间像对应的主成分和回归矩阵，并对主成分插值。待测空间像裁剪之后，经过粗定心流程，待测空间像位置估计值判断流程和精定心流程得到待测空间像对应...
闫观勇王向朝杨济硕徐东波段立峰
光刻机投影物镜大像差检测方法
一种光刻机投影物镜大像差检测方法。该方法采用多级Box-Behnken Design抽样方法，并通过空间像主成分分析实现对光刻投影物镜大波像差的检测。本发明方法在像差幅值大于0.1λ时，能够使像差的检测精度提高30％以上...
段立峰王向朝徐东波
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