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王向朝

作品数:825 被引量:1,352H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 555篇专利
  • 223篇期刊文章
  • 30篇会议论文
  • 17篇科技成果

领域

  • 187篇电子电信
  • 162篇机械工程
  • 109篇理学
  • 45篇自动化与计算...
  • 8篇金属学及工艺
  • 6篇一般工业技术
  • 6篇文化科学
  • 3篇医药卫生
  • 2篇电气工程
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 190篇光刻
  • 162篇光学
  • 119篇物镜
  • 118篇光刻机
  • 109篇干涉仪
  • 99篇投影物镜
  • 95篇波像差
  • 86篇偏振
  • 84篇掩模
  • 70篇激光
  • 65篇像差
  • 62篇光栅
  • 60篇光纤
  • 60篇光源
  • 56篇相位调制
  • 54篇传感
  • 52篇照明
  • 49篇正弦相位调制
  • 47篇感器
  • 47篇传感器

机构

  • 824篇中国科学院上...
  • 82篇中国科学院大...
  • 17篇中国科学院研...
  • 11篇上海大学
  • 6篇浙江大学
  • 5篇中国科学院微...
  • 4篇江南大学
  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 2篇军事医学科学...
  • 2篇中国科学院
  • 2篇中国工程物理...
  • 2篇新疆师范大学
  • 2篇新泻大学
  • 2篇上海恒益光学...
  • 2篇东方晶源微电...
  • 1篇东华大学
  • 1篇华中科技大学
  • 1篇华侨大学
  • 1篇上海理工大学
  • 1篇嘉兴学院

作者

  • 825篇王向朝
  • 213篇唐锋
  • 150篇李思坤
  • 143篇步扬
  • 115篇李中梁
  • 71篇卢云君
  • 67篇南楠
  • 50篇王学锋
  • 47篇黄惠杰
  • 45篇方祖捷
  • 43篇闫观勇
  • 43篇冯鹏
  • 40篇蔡燕民
  • 40篇钱锋
  • 39篇郭福东
  • 37篇王瑄
  • 36篇戴凤钊
  • 35篇李杰
  • 33篇陈艳
  • 33篇刘英明

传媒

  • 88篇光学学报
  • 80篇中国激光
  • 15篇激光与光电子...
  • 10篇光子学报
  • 8篇光电子.激光
  • 4篇第五届全国微...
  • 4篇第十七届全国...
  • 3篇物理学报
  • 2篇激光杂志
  • 2篇科技开发动态
  • 2篇半导体光电
  • 2篇第十六届全国...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇电子测量技术
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇计量学报
  • 1篇物理
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 8篇2024
  • 13篇2023
  • 35篇2022
  • 37篇2021
  • 38篇2020
  • 43篇2019
  • 56篇2018
  • 59篇2017
  • 58篇2016
  • 54篇2015
  • 80篇2014
  • 35篇2013
  • 23篇2012
  • 25篇2011
  • 11篇2010
  • 22篇2009
  • 26篇2008
  • 26篇2007
  • 28篇2006
  • 32篇2005
825 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
微小转角干涉测量仪
一种微小转角干涉测量仪,其结构是:一调制光源由调制驱动电源驱动,在该调制光源发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件,在该分光元件的第一出射光束前进方向上经第一反光镜,进入第一测量臂组件,在所...
郑德锋王向朝
文献传递
光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法
光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法,该方法采用的光栅剪切干涉仪系统包含:光学及照明系统、待测光学成像系统、物面衍射光栅版、像面衍射光栅版、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测光学...
卢云君李中梁王向朝
单光源激振测振谐振传感器
一种单光源激振测振谐振传感器,其结构包括:由第一驱动电源驱动的带有温度控制器的光源,沿该光源出射光前进方向依次通过光纤段连接的隔离器、耦合器、固定着正弦相位调制装置的准直器,准直器出射光方向有一谐振器,正弦相位调制装置由...
李中梁王向朝刘英明王少卿
文献传递
使用相位共轭光精密测量粗糙面物体的振动振幅被引量:6
2000年
提出了一个用于测量粗糙面物体振动振幅的自抽运相位共轭干涉仪。粗糙面反射光的波前失真由相位共轭修复。用这个干涉仪测量了一个有粗糙表面的不锈钢片的振动振幅分布。
王向朝佐々木修己菊地崇朗铃木孝昌于丹阳王学锋方祖捷
基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法,测量系统包括光源、显微物镜、小孔光阑、准直物镜、剪切平板、光电探测器和计算机,测量时将待测光学元件置于准直物镜之后,并使光轴穿过待侧面的中心,测量步骤如下:①获取x方向和...
戴凤钊唐锋王向朝张敏
复合光源实时微振动干涉测量仪被引量:5
2004年
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪。通过采用复合光源和反馈系统 ,有效地消除了激光二极管 正弦相位调制 (LD SPM )干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响 。
李代林王向朝王学锋郭立萍刘英明
极紫外光刻掩模衍射谱的快速仿真方法
一种极紫外光刻掩模衍射谱快速仿真方法,将掩模整体看作一个多层膜结构,划分为有吸收层覆盖区域和无吸收层覆盖区域。在斜入射情况下,基于等效膜层法计算两种区域膜层复反射系数,采用基尔霍夫近似计算掩模衍射谱。本发明方法可以快速仿...
胡少博李思坤唐明王向朝张子南
文献传递
精确测量1/4波片相位延迟量的新方法被引量:23
2006年
提出了一种精确测量1/4波片相位延迟量的新方法。测量光路由激光器、起偏器、被测1/4波片、光弹调制器、检偏器和光电探测器构成。起偏器和检偏器的透光轴相互垂直。被测1/4波片的快轴与光弹调制器的振动轴平行,且与起偏器和检偏器的透光轴分别成±45°夹角。准直激光束依次经过起偏器、被测1/4波片、光弹调制器和检偏器的探测光强由光电探测器接收。利用探测信号的直流分量与二次谐波分量精确计算出被测1/4波片的相位延迟量。实验验证了这种测量方法的有效性,改变初始光强过程中相位延迟量测量结果的复现性为0.012°,检偏器、被测1/4波片的方位角变化1°的过程中相位延迟量测量结果的复现性为0.008°。
胡建明曾爱军王向朝
关键词:偏振1/4波片
提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法
一种提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法,通过合理地选择正弦相位调制深度,从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差,减小了电路中的直流噪声引起的随机误差,提高了振动测量精度。
李中梁王向朝王渤帆
文献传递
皮肤光学相干层析图像配准的方法
一种皮肤光学相干层析图像的配准方法,首先对采集的两组快速扫描方向正交的光学相干层析三维数据集进行预处理,再利用多层分辨率法与梯度优化法对两组数据集进行先纵向后整体的两步配准,消除运动伪影。完成配准后,将两组三维数据集进行...
曹毅李中梁南楠张茜何东航王向朝
文献传递
共83页<12345678910>
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