李晓天
- 作品数：116 被引量：83H指数：6
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大技术装备创新研制项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种光栅刻划装置及具有该装置的光栅刻划机
- 本发明提供的光栅刻划装置及刻划机，包括刻划电机1、驱动轮2、导轨3、传动带4、支架5、横梁6、第一转接板7、第二转接板8、第三转接板9、第四转接板10、第一接近开关11、第一霍尔开关12、第二霍尔开关13、第三霍尔开关1...
- 唐玉国糜小涛于宏柱于海利李晓天丛敏齐向东巴音贺希格
- 文献传递
- 一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法
- 本申请公开了一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法，所述拼接光栅拼接误差检测系统包括：干涉仪、棱镜、第一反射部和第二反射部；所述拼接光栅拼接误差检测系统利用干涉仪和棱镜实现了向所述待检测光栅发送两束不同入射角的入...
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- 文献传递
- 光栅划刻机及其工作台的锁紧装置
- 本发明公开了一种光栅刻划机工作台的锁紧装置，用于锁紧配合的下导轨和上导轨，包括支座和电磁铁，其中，电磁铁安装在支座上，并且得电后具有磁性，该电磁铁与上导轨相对的部分和与下导轨相对的部分的磁性相反，以吸合上导轨和下导轨。电...
- 于海利唐玉国糜小涛于宏柱张善文李晓天吉日噶兰图齐向东巴音贺希格
- 文献传递
- 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正被引量：3
- 2014年
- 考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首先,推导出了微定位工作台位移实时修正公式。接着,采用三路干涉仪实现了微定位工作台摆角测量及其主要成分分析。最后,进行了光栅刻线摆角放大和校正实验。结果显示,摆角放大和摆角校正实验已基本达到了预期的效果,对光栅宽度为10.4mm且刻线密度为600line/mm的光栅进行修正后,光栅刻线摆角比校正前降低了64%以上。这些结果表明:采用单压电执行器方法对光栅刻线摆角进行实时修正可有效降低光栅刻线摆角,提高光栅质量;该方法可应用于大面积机械刻划光栅刻线摆角的修正。
- 李晓天齐向东于海利高键翔冯树龙巴音贺希格
- 关键词：平面光栅
- 一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置
- 本发明涉及光栅刻划技术领域，具体公开一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置。本发明包括刀架升降机构、刀架支撑架、微定位工作台、工作台安装座、柔性铰链、压电陶瓷、拉簧、小刀架、金刚石刻刀；压电陶瓷与微定位工作台通过...
- 李晓天于海利唐玉国刘兆武杨超齐向东
- 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测被引量：1
- 2017年
- 为了提高二维工作台的定位精度,提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜,利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息,对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析了零点误差对工作台测量镜面形误差检测的影响,并提出了相应的校正方案。对所提出的方法进行了理论推导和实验验证,结果表明,所提方法的检测重复精度优于2.6521nm,验证了该方法对工作台测量镜面形误差检测的正确性,并且可对工作台x轴测量镜的面形误差进行实时补偿。
- 刘兆武李文昊巴音贺希格宋莹姜珊李晓天吕强
- 关键词：光检测技术光栅激光干涉仪
- 一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法
- 本发明公开一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法，包括：采用所述激光干涉计对刻划刀架的固有位置误差进行测量；采用衍射波前测量仪对所述光栅基底的面形误差进行测量；根据步骤一测量得到的刻划刀架固有位置误差和步骤二得到的光栅基底...
- 李晓天于海利唐玉国刘兆武杨超齐向东
- 全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构
- 全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构属于全息平面衍射光栅制作领域，目的在于解决现有技术存在的干涉场承载平台热膨胀对测量精度的影响以及米级尺寸的Y轴长条反射镜的加工及装调难度大的问题。本发明包括的X轴测量系统包括X...
- 李晓天刘兆武于海利唐玉国巴音贺希格齐向东李文昊白志红
- 文献传递
- PGP成像光谱仪的全视场自动化光谱定标方法被引量：4
- 2014年
- 为了对PGP成像光谱仪所获得的光谱数据进行定量化分析,需对PGP成像光谱仪进行光谱定标,以获得各光谱通道的中心波长、光谱分辨率及成像光谱仪的光谱弯曲等光谱特性信息。采用单色准直光法设计了一套全视场自动化的光谱定标系统,系统中引入球面镜为待测的成像光谱仪光谱定标提供准直光,通过可自动控制的折转镜改变定标入射光线的入射角,以此实现待测成像光谱仪空间维不同视场的自动化光谱定标。运用该定标系统对PGP成像光谱仪进行光谱定标实验,得到该成像光谱仪的光谱性能参数,并结合定标系统的结构特点,对实验的结果进行了精度分析。实验分析结果表明该系统对PGP成像光谱仪的中心波长定标精度达到0.1nm,光谱分辨率定标精度达到1.3%。该研究设计的全视场自动化光谱定标系统具有结构新颖紧凑、通用性较强、光谱定标精度较高等特点,且由于自动化的控制,避免了由于人为参与定标过程所带来的额外误差。该系统可用于实现PGP成像光谱仪及其他同类型成像光谱仪的光谱定标。
- 孙慈巴音贺希格崔继承潘明忠李晓天唐玉国
- 关键词：光谱分辨率
- 成像光谱仪光学系统
- 本发明提供一种成像光谱仪光学系统，包括：光源装置、缩束透镜组、光栅、角锥棱镜、反射镜组和成像装置；光源装置发出脉冲光束对样品进行照射后经过缩束透镜组进入光栅中，经过光栅的反射后垂直于角锥棱镜的底面进入角锥棱镜中，经过角锥...
- 李晓天陈俊吉日嘎兰图初启航糜小涛刘忠凯孙雨琦
