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李红奕

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：深圳大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：广东省自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇CIS薄膜
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇深圳大学

作者

  • 1篇梁广兴
  • 1篇蔡兴民
  • 1篇李红奕
  • 1篇范平
  • 1篇汝丽丽
  • 1篇张东平
  • 1篇郑壮豪

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子束溅射制备CuInSe_2薄膜的研究被引量：10
2009年
利用离子束溅射沉积技术,设计三元复合靶,直接制备CuInSe2(CIS)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和分光光度计检测在不同衬底温度和退火温度条件下制备的CIS薄膜的微结构、表面形貌和光学性能。实验结果表明:使用离子束溅射沉积技术制备的CIS薄膜具有黄铜矿结构,在一定的条件下,适当温度的热处理可以制备结构紧密、颗粒均匀、致密性和结晶性良好的CIS薄膜,具有强烈的单一晶向生长现象。
范平郑壮豪张东平梁广兴蔡兴民汝丽丽李红奕
关键词：离子束溅射CIS薄膜衬底温度退火温度
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