林华
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 利用导波耦合角度实时控制光刻胶光栅掩模的占宽比被引量：2
- 2006年
- 研究一种控制多层介质膜上的光刻胶光栅掩模占宽比(线宽与周期之比)的新方法。该方法基于下面的原理:如果某泄漏模在包层中的隐失尾较强,那么它的等效折射率受光刻胶光栅占宽比变化的影响就大,从而可以利用耦合角度来实时控制光栅占宽比。在光栅制作的显影阶段,采用实时监测技术,根据耦合角度和占宽比之间的关系预设入射光角度,在出现共振反常的时刻停止显影来控制占宽比。实验结果表明,固定适当的入射角度可以得到特定的占宽比;改变入射角度,占宽比按照预计的规律变化,因此定性地验证了这种占宽比控制方法的可行性。文中给出了监控装置和具体的实验方法,并讨论了误差来源和影响。
- 林华李立峰曾理江
- 关键词：物理光学
- 用于增强干涉条纹稳定性的反馈控制系统被引量：3
- 2004年
- 介绍了一种用于对干涉系统进行闭环控制的反馈系统,对该系统的工作原理和使用方法进行了详细的介绍。并且在麦克尔逊干涉仪中对该反馈系统进行了实验,得到了满意的结果,证明了该反馈系统的有效性。
- 高亮林华曾理江
- 关键词：闭环反馈干涉仪干涉条纹稳定性光电探测器
