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梁春广
作品数:
41
被引量:97
H指数:5
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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合作作者
杨拥军
中国电子科技集团第十三研究所
李献杰
河北半导体研究所
徐永青
中国电子科技集团第十三研究所
曾庆明
河北半导体研究所
刘式墉
吉林大学电子科学与工程学院集成...
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1996
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1994
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1993
1篇
1992
1篇
1991
共
41
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InP/InGaAs HBT湿法化学选择腐蚀技术
被引量:2
2000年
用H3PO4:H2O2系和HCl系腐蚀液实现了InP对InGaAs、InGaAs对InP的湿法化学选择腐蚀,并将其应用于InP/InGaAsHBT制作,发射极面积为10μm×20μm的单管共发射极直流增益β为70,截止频率Ft和最大振荡频率Fmax分别为11GHz和12GHz.
李献杰
曾庆明
徐晓春
敖金平
刘伟吉
梁春广
关键词:
INP
INGAAS
HBT
湿法刻蚀
N#-[2]分压对RF反应溅射制备非晶WSixNY薄膜影响
王立侠
梁春广
关键词:
溅射
硅化物
砷化镓
金属薄膜
能带工程在激光器中的应用
1991年
随着MBE和MOCVD生长技术的发展,已能生长出高质量超薄层的外延材料,使能带工程技术成为目前国内外的热门研究课题。该技术可使光电器件和电子器件的性能得到明显的改进和提高。本文主要论述了能带工程在半导体激光器中的应用。
梁春广
杨瑞麟
关键词:
激光器
超晶格半导体
微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的应用
说明了电子隧穿传感器的工作原理;阐述了微机械电子隧穿红外探测器、微机械电子隧穿加速度计、微机械电子隧穿磁强计等典型的微机械电子隧穿传感器及其在航天技术中的巨大应用潜力和优势;最后介绍了我们在微机械电子隧穿红外探测器、微机...
杨拥军
赵正平
梁春广
关键词:
微机械
红外探测器
加速度计
磁强计
陀螺仪
航天技术
文献传递
MEMS光开关发展现状
2002年
介绍MEMS光开关的特点,分析了MEMS光开关的需求背景和应用范围,详细介绍了国内外MEMS光开关及其相关技术发展状况,分析了MEMS光开关的市场情况,指出了我国发展MEMS光开关技术的紧迫性和重要意义。
杨拥军
梁春广
关键词:
光开关
OXC
OADM
光分插复用器
光交叉连接器
静电式微机械全光开关
本实用新型公开了一种静电式微机械全光开关,涉及光电子技术领域中的光开关器件。它由N型单晶硅衬底、定齿、动齿、定齿和动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、金属层、浓硼层、光纤、硅微镜、垂直槽、V形槽等部件组成。它采用...
徐永青
杨拥军
赵彦军
梁春广
文献传递
6~18GHz宽带功率放大器模块
被引量:4
1996年
研究了GaAs功率MESFET的小信号特性、大信号特性和其宽带匹配网络。选用TWT-2型功率器件,设计研制出了单级宽带功率放大器。在6~18GHz的工作频率范围内,小信号增益等于5.0±1.0dB,1dB压缩输出功率等于25.0±0.8dBm,输入输出驻波比小于2.5。
杨文钊
梁春广
李振国
关键词:
信号特性
匹配网络
宽带
功率放大器
RF MEMS技术
被引量:10
2002年
通信收发机、天线等无线设备的发展趋势是高性能、小体积、低成本。微电子机械系统技术在这一趋势中显现了技术潜力。本文阐述了RFMEMS技术的现状。
梁春广
关键词:
微电子机械
射频
微电子
RIE技术制备p-n结型GaN蓝光LEDs
1999年
自从S.Nakamura等人成功地制备了GaN/GaInN/AlGaN蓝、绿光LEDs以来,GaN及其相关化合物的材料生长和器件工艺得到了广泛地研究.由于GaN材料不同于传统的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,因此其器件的加工工艺,如欧姆或肖特基接触的形成、...
章其麟
张冀
赵永军
李云
梁春广
刘燕飞
杨瑞林
关键词:
反应离子刻蚀
氮化镓
蓝光
Gb/s级光前置放大器的基本电路形式
1993年
通过对由InGaAs-PIN或InGaAs-APD与GaAsFET或HEMT配合组成的光前置放大器分类比较,找出了适合Gb/s高速光纤通信前置放大器的电路形式。介绍了几种典型电路,讨论和分析了其设计、制作和测试结果。
高建军
梁春广
关键词:
放大器
混合集成电路
光放大器
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