洪小刚
- 作品数：14 被引量：29H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 探针诱导光刻薄膜及其制备方法
- 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜及其制备方法，该探针诱导光刻薄膜的结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgO<Sub>x</Sub>或NiO...
- 李小刚洪小刚赵成强王阳徐文东唐晓东
- 文献传递
- 视频眼镜双目视轴偏差检测装置和方法
- 一种视频眼镜双目视轴偏差的检测装置和方法，主要是利用摄像装置对视频眼镜产生的识别图案进行成像，通过检测识别图案的位置计算得到视频眼镜双目视轴的夹角，其特征在于：将一个发光十字放在离摄像装置一定距离处，且发光十字中心位于摄...
- 徐文东赵成强洪小刚范永涛陈璐
- 文献传递
- 分层介质中p偏振光透射系数的修正
- 2010年
- 通过理论计算获得了全反射时分层介质中p偏振光的透射系数计算公式,并采用时域有限差分(FDTD)方法进行了验证。计算所获得的公式与传统的采用分层介质的特性矩阵法计算获得的相似,不同之处在于当发生全反射时,公式多了一个全反射修正因子。此外,采用FDTD模拟的两层介质的全反射结构及表面等离子体共振(SPR)膜系结构的结果与修正后的公式符合得很好。该修正公式是对分层介质中电磁波传播的完善,是对一些有影响力的文献关于场增强因子的修正,它对SPR及倏逝场的研究具有参考价值。
- 洪小刚徐文东赵成强唐晓东
- 关键词：多层介质全反射透射系数表面等离子体共振
- 可变入射角的激光会聚装置
- 一种可变入射角的激光会聚装置，特点在于其构成包括扩束镜、平面反射镜和会聚透镜，所述的平面反射镜固定在一个平移台上，所述的平面反射镜的反射面与所述的扩束镜的出射光束呈一定的角度，所述的平面反射镜在所述的平移台带动下沿激光入...
- 赵成强徐文东李小刚洪小刚唐晓东
- 文献传递
- 探针诱导光刻薄膜
- 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜，特征在于其结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgO<Sub>x</Sub>或NiO<Sub>y</Sub...
- 李小刚洪小刚赵成强王阳徐文东唐晓东
- 文献传递
- 探针诱导表面等离子体共振光刻装置
- 一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特点，该装置还...
- 赵成强徐文东洪小刚李小刚唐晓东
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- 探针诱导光刻薄膜及其制备方法
- 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜及其制备方法，该探针诱导光刻薄膜的结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgO<Sub>x</Sub>或NiO...
- 李小刚洪小刚赵成强王阳徐文东唐晓东
- 文献传递
- 探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法
- 一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特...
- 赵成强徐文东洪小刚李小刚唐晓东
- 文献传递
- 探针对表面等离子体共振的影响被引量：3
- 2010年
- 采用时域有限差分方法(FDTD)对探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻(PSPRN)技术中探针的引入对表面等离子体共振(SPR)产生的影响进行了模拟分析,以获得最佳的光刻实验条件。结果表明,高斯光束聚焦光斑越小,SPR场增强效应也越小。接触模式下,针尖曲率半径为10 nm的硅(Si),35 nm,100 nm的金(Au)探针,分别使SPR共振角变化了0,0.8°和1°。且对于Au探针,针尖曲率半径大的,针尖处的局域场增强效应要小。分析表明,采用针尖曲率半径为10 nm的Si或35 nm的Au探针,在合适的SPR膜层上通过调整光入射角度,很有可能实现50 nm的光刻记录点。
- 洪小刚徐文东赵成强唐晓东
- 关键词：表面光学表面等离子体共振时域有限差分方法探针
- 探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统被引量：7
- 2009年
- 提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统。此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果。系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制。通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性。研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考。
- 赵成强徐文东洪小刚李小刚唐晓东
- 关键词：光刻表面等离子体共振原子力显微镜探针
