李小刚
- 作品数：11 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺电子电信化学工程更多>>
- 可变入射角的激光会聚装置
- 一种可变入射角的激光会聚装置，特点在于其构成包括扩束镜、平面反射镜和会聚透镜，所述的平面反射镜固定在一个平移台上，所述的平面反射镜的反射面与所述的扩束镜的出射光束呈一定的角度，所述的平面反射镜在所述的平移台带动下沿激光入...
- 赵成强徐文东李小刚洪小刚唐晓东
- 文献传递
- 探针诱导光刻薄膜
- 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜，特征在于其结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgO<Sub>x</Sub>或NiO<Sub>y</Sub...
- 李小刚洪小刚赵成强王阳徐文东唐晓东
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- 探针诱导表面等离子体共振光刻装置
- 一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特点，该装置还...
- 赵成强徐文东洪小刚李小刚唐晓东
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- 探针诱导光刻薄膜及其制备方法
- 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜及其制备方法，该探针诱导光刻薄膜的结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgO<Sub>x</Sub>或NiO...
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- 探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法
- 一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特...
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- 磁控溅射参数对NiO_x薄膜光学常数的影响(英文)
- 2009年
- 采用反应性磁控溅射法制备了NiOx薄膜,并结合椭圆偏振仪、XRD和XPS研究了溅射参量对其光学常量的影响.NiOx薄膜的光学常量随着O2/Ar流量比的增大而减小;热退火后,折射率增大而消光系数下降了50%;溅射功率越大折射率也越大,而工作气压越大折射率反而越小.这些变化分别与薄膜中存在间隙O和Ni空位、NiOx分解以及NiOx薄膜的致密度有关.
- 李小刚唐晓东
- 关键词：光学常数溅射参数
- 探针诱导光刻薄膜及其制备方法
- 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜及其制备方法，该探针诱导光刻薄膜的结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgO<Sub>x</Sub>或NiO...
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- 探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统被引量：7
- 2009年
- 提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统。此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果。系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制。通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性。研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考。
- 赵成强徐文东洪小刚李小刚唐晓东
- 关键词：光刻表面等离子体共振原子力显微镜探针
- 可变入射角的激光会聚装置
- 一种可变入射角的激光会聚装置，特点在于其构成包括扩束镜、平面反射镜和会聚透镜，所述的平面反射镜固定在一个平移台上，所述的平面反射镜的反射面与所述的扩束镜的出射光束呈一定的角度，所述的平面反射镜在所述的平移台带动下沿激光入...
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- 数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻被引量：11
- 2008年
- 采用有损耗介质和色散介质的二维时域有限差分方法,数值模拟了以光波长514.5 nm的p偏振基模高斯光束为入射光源,激发Kretschmann型表面等离子体共振,并通过探针的局域场增强效应实现纳米光刻的新方法——探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻.分别就探针与记录层的间距以及探针针尖大小,模拟分析了不同情况下探针的局域场增强效应和记录层表面的相对电场强度振幅分布.结果表明,探针工作在接触模式时,探针的局域场增强效应最明显,记录层表面的相对电场强度振幅的对比度最大;当探针针尖距记录层5 nm时,针尖下方记录层表面的相对电场强度振幅大于光刻临界值的分布宽度与针尖尺寸相近.
- 洪小刚徐文东李小刚赵成强唐晓东
- 关键词：纳米光刻表面等离子体共振时域有限差分方法
