步扬
- 作品数：157 被引量：266H指数：10
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法
- 一种光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法，所述检测方法使用的检测系统包括光源、照明系统、掩模台、包含检测标记的掩模、投影物镜、工件台、像传感器、用于掩模台与工件台的定位系统、数据处理系统及反馈控制系统。所述的检测方法采用偏...
- 涂远莹王向朝步扬
- 文献传递
- 一种光学元件双向转动调整机构
- 一种光学元件双向转动调整机构，包括：光学元件、光学元件支架、轴承、支架底座、转杆、调整顶杆、锁紧螺母、推杆、推杆支架、导向定位销、压簧、凸轮转杆、底板、旋转电机、拉簧销和拉簧。本实用新型提高了光学元件的转动精度；降低了由...
- 范李立王向朝李中梁步扬
- 文献传递
- 一种基于光学干涉检测的绝对面形测试方法
- 一种基于光学干涉检测的绝对面形测试方法属于光学检测领域，具体涉及一种适用于平面和球面的绝对面形误差的标定方法。该方法的测试精度高，测试方式简单，同时可以保留测试元件的全频谱误差。
- 吴伦哲赵俍骁王哲步扬徐学科
- 宽光谱大视场显微物镜光学系统
- 一种宽光谱大视场显微物镜光学系统，包括沿光路方向同轴依次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、孔径光阑、第六透镜组、第七透镜组和第八透镜组，所述的第一透镜组至第八透镜组构成物镜组E1，所述的第...
- 徐静浩步扬王向朝
- 文献传递
- 一种深紫外复合结构金属线栅偏振器
- 一种深紫外复合结构金属线栅偏振器，包括基底及具有凹槽的金属光栅和介质填充结构。所述的金属光栅与介质填充结构具有相同的周期P为100～300nm,所述的金属光栅占空比W/P为0.5～0.85,所述的金属光栅的高宽比H/W为...
- 吴芳步扬刘志帆王远航孙晨薇王向朝
- 一种提高偏振光斯托克斯参量测量精度的方法被引量：14
- 2013年
- 波片相位延迟量误差是影响旋转波片法斯托克斯(Stokes)参量测量精度的主要因素。通过对传统旋转波片法测量Stokes参量的原理进行理论分析,研究了测量误差与相位延迟量误差之间关系,提出了提高偏振光Stokes参量测量精度的方法。该方法通过调整检偏器透光轴方向与待测光束偏振方向成90°或45°后再进行测量,可有效减小波片相位延迟量误差对Stokes参量测量的影响。实验结果表明,当相位延迟量误差小于1.2°时,采用所提出的优化旋转波片法使Stokes参量测量误差从传统旋转波片法的4.31%减小到0.33%。
- 汤飞龙李中梁步扬王向朝范李立曹绍谦
- 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法
- 一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法，测量装置包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。本发明可以实时监测照明光瞳偏振态的动态变化，直接测...
- 蔡燕民李中梁步扬王向朝黄惠杰
- 文献传递
- 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测被引量：12
- 2019年
- 为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后的OTSU(Otsu Image Segmentation Algorithm)分别对单光谱与多光谱疵病图像进行分析。基于该方法搭建了光学元件表面疵病检测装置,获得了白光照明条件下光学元件表面疵病的图像。实验结果表明,与原始白光图像相比,合成多光谱图像的疵病检出数量提升了1.85倍,疵病检出面积最大增加了6.0倍,检测效率得到明显提高。根据光学元件表面疵病的特性选取不同波长组合来生成单光谱与多光谱图像,可更加高效精确地检测出传统检测技术不易检出的疵病信息。
- 杨言若步扬徐静浩王少卿王向朝李杰
- 光源空间相干性对深紫外光刻照明均匀性的影响
- 2024年
- 为分析空间相干性对均匀性的准确影响,提出一种基于互强度传播理论的部分相干光刻照明仿真方法。在不同照明模式和同一照明模式以及不同部分相干因子的情况下,分析空间相干性对掩模面照明均匀性的影响。结果表明,照明均匀性会随着相干度增大而减小,散斑对比度会随着相干度增大而增大。为了满足浸没式193 nm光刻机均匀性大于97.5%的照明要求,环形、二极和四极照明的空间相干度应分别小于3.37%、2.96%和3.11%,对应的散斑对比度分别小于2.81%、2.13%和2.33%。
- 宋子健龚爽步扬魏爽
- 关键词：物理光学光刻照明系统空间相干性散斑
- 用于半导体激光器光频光强的调制装置
- 一种用于半导体激光器光频光强的调制装置，能够分别独立地进行对被调制半导体激光器的光频和光强调制。调制光源采用了三电极分布布拉格反射半导体激光器。当进行光频调制时，通过光路中的偏振分束器、分束器和光电转换器，控制驱动电流控...
- 卢洪斌步扬王向朝
- 文献传递
