闫永达
- 作品数：133 被引量：107H指数：6
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金航天支撑技术基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- MEMS器件圆度误差纳米级测量方法研究被引量：1
- 2005年
- 为了测量毫米以下尺寸MEMS零件的圆度参数,建立了将扫描探针显微镜(SPM)系统的原子力测头作为测量传感器,配合精密回转气浮轴系实现对待测试件进行转位的测试系统;讨论了精密气浮轴系、驱动电机、装夹调心装置等关键部件的设计问题及测量系统的工作原理.应用测试系统测量了直径约为0.2mm的微细电极外表面形貌,对获得的表面数据进行了滤波处理,最后使用最小二乘圆度评定准则计算其圆度误差为3.210μm.这种方法可以为圆形MEMS器件的制造工艺提供可行的测量方法与手段.
- 孙涛赵学森闫永达董申
- 关键词：MEMS圆度
- 面向材料的超精密金刚石切削加工机理被引量：4
- 2022年
- 采用超精密单点金刚石切削加工技术制备超光滑表面在国防尖端和航空航天等领域具有重要应用.当前缺乏对超精密加工机理的理解,极大地制约着超精密加工技术的提高.金刚石切削加工是一个刀具与材料高度耦合的过程,工件材料的性能对加工结果具有重要影响.本文研究了具有不同属性和微结构的典型材料超光滑表面的金刚石切削加工机理:(1)研究了多晶金属铜金刚石切削加工中的非均质特性,重点关注了晶界对表面创成的影响机制及其抑制策略;(2)研究了单晶硅和单晶碳化硅金刚石切削加工中的脆塑转变机理,重点关注了超声椭圆振动辅助切削加工技术对硬脆材料延性加工性能的提升;(3)研究了反应烧结碳化硅和铝基碳化硅金刚石切削加工中的各相材料协同加工变形机制,重点关注了振动辅助和切削路径对复合材料表面创成的影响规律.本文的研究成果为不同材料超光滑表面的超精密金刚石切削加工创成提供了理论依据.
- 张俊杰张建国闫永达孙涛
- 关键词：超精密加工金刚石切削超光滑表面
- 基于AFM纳米铣削及化学腐蚀加工的表面增强拉曼基底制备方法
- 本发明公开了一种基于AFM纳米铣削及化学腐蚀加工的表面增强拉曼基底制备方法，所述方法包括如下步骤：步骤（1）采用磁控溅射法在基底表面依次制备金膜、银膜和金膜；步骤（2）基于AFM的纳米铣削加工系统，在金‑银‑金复合膜表面...
- 耿延泉王继强闫永达
- 一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法
- 本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台...
- 闫永达于博文耿延泉胡振江赵学森
- 文献传递
- 基于原子力显微镜恒高模式的纳米微小结构加工方法
- 基于原子力显微镜恒高模式的纳米微小结构加工方法，本发明涉及纳米量级微小结构的加工方法。它克服了现有的AFM的纳米微小结构加工方法加工深度不可人为设定以及所能精确加工的尺寸范围非常有限的缺陷。本发明系统增加了三维微动工作台...
- 孙涛胡振江闫永达赵学森董申
- 文献传递
- 一种具有力伺服功能的微机械加工刀架
- 本发明公开了一种具有力伺服功能的微加工刀架，所述微加工刀架包括PZT促动器、第一位移传感器、第二位移传感器、丝杆、螺母、旋转环、柔性铰链、探针、导向支架和XY位移平台。本发明利用柔性铰链，将对法向力的测量转为对柔性铰链法...
- 闫永达蔡建雄张景然王豫章耿延泉
- 单晶铜AFM加工过程的分子动力学模拟被引量：3
- 2008年
- 建立了AFM针尖切削单晶铜的分子动力学模型。分别采用对势Morse势和多体势EAM势计算工件原子之间的相互作用,研究了不同势能函数对模拟结果的影响。发现两种不同势能函数作用下切屑和加工表面的形成的差别很小,但是用Morse势时系统的势能和牛顿层的温度比用EAM势时要大。用EAM势计算工件原子之间的相互作用,分析了不同切削深度下系统势能、工件单个原子势能的变化,发现随着切削深度的增加,系统势能增长的斜率增加,单个工件原子势能突变的梯度减小。
- 张俊杰孙涛李增强闫永达梁迎春董申
- 关键词：AFM分子动力学模拟MORSEEAM
- 微小零件三维测量的微定位技术研究
- 该文结合哈工大精密加工研究所研制的三坐标测量机,对微小尺寸测量中的微定位技术进行了研究.研制了X,Y二维工作台的控制系统,并进行实验研究了其特性.对Z向工作台研制了维持光电流恒定的闭环控制系统,引入了PID调节器,以提高...
- 闫永达
- 关键词：微定位
- 文献传递
- 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
- 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...
- 闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江
- 文献传递
- AFM加工中材料去除机理研究
- 在基于AFM的加工中,通过针尖与表面间力的作用来改变样品表面结构的机械刻划方法不仅在摩擦磨损中得到广泛的应用,而且也逐渐被应用在微纳米制造领域.但是在针尖与样品表面之间的机械刻划过程中材料的去除机理有待于更深入的理解.这...
- 闫永达孙涛董申梁迎春程凯
- 文献传递
