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耿延泉

作品数：44 被引量：3H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术文化科学轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 41篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 2篇轻工技术与工...
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 13篇纳米
  • 11篇探针
  • 10篇刻划
  • 9篇微纳米结构
  • 8篇精密工作台
  • 7篇原子力显微镜
  • 7篇AFM
  • 6篇电容式
  • 6篇电容式位移传...
  • 6篇商用
  • 6篇位移传感器
  • 6篇金属薄膜
  • 6篇滑块
  • 6篇基底
  • 6篇反射镜
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 4篇电荷放大器
  • 4篇电化学

机构

  • 44篇哈尔滨工业大...
  • 2篇厦门大学

作者

  • 44篇耿延泉
  • 38篇闫永达
  • 20篇胡振江
  • 14篇赵学森
  • 9篇于博文
  • 6篇曹永智
  • 4篇张景然
  • 4篇孙涛
  • 2篇王瑞
  • 2篇刘宇
  • 2篇甄良
  • 2篇李洋
  • 2篇徐成彦
  • 2篇李增强
  • 2篇王宗伟
  • 2篇邵文柱

传媒

  • 1篇自然杂志

年份

  • 5篇2023
  • 3篇2022
  • 6篇2021
  • 8篇2020
  • 5篇2019
  • 4篇2018
  • 6篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 1篇2011
共 44 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于AFM的微纳流控芯片制备方法
本发明公开了一种基于AFM的微纳流控芯片制备方法，所述方法步骤如下：一、基于原子力显微镜的纳沟槽加工：应用AFM探针在金属样品表面进行纳米沟槽的加工；二、光刻法微沟槽加工：采用光刻法在单晶硅基底上进行微沟槽的加工；三、P...
耿延泉王继强闫永达
基于AFM的纳米加工深度模型及跨尺度结构加工工艺研究
目前，随着纳米科技的快速发展，纳米结构越来越多的应用于纳米光学、纳米流控以及纳米电子学等领域。然而，由于常用的纳米加工技术过于复杂或者过于昂贵，如聚焦离子束刻蚀、激光加工以及纳米压印等，严重制约了纳米结构的加工。因此，如...
耿延泉
关键词：机械加工工艺参数原子力显微镜
一种适用于微纳双模检测加工模块的控制系统及方法
本发明公开了一种适用于微纳检测加工模块的控制系统及方法，所述系统包括微纳双模检测加工模块、三坐标工作台、PZT驱动器、UMAC、电荷放大器、锁相放大器、XY压电扫描台、路由器、上位机、CCD、XY向位移传感器和Z向位移传...
闫永达史文博耿延泉胡振江毛立阳王桐
文献传递
一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶
一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接，多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合，每个隔离圈均由两个半圆环体组成，每两个半圆环体扣合设置在支撑管上，每两个半圆...
闫永达毛立阳曹永智耿延泉王桐
文献传递
一种利用超长纳米线制备电化学纳米点阵列电极的方法
一种利用超长纳米线制备电化学纳米点阵列电极的方法，属于纳米电极制备技术领域。本发明是为了简单高效可重复地制备纳米点阵列电极，在含微米沟槽阵列的硅模板上浇注PDMS；在固化完成的PDMS模具上浇注树脂，得到带有微米沟槽阵列...
耿延泉方卓闫永达胡振江
一种具有力伺服功能的微机械加工刀架
本发明公开了一种具有力伺服功能的微加工刀架，所述微加工刀架包括PZT促动器、第一位移传感器、第二位移传感器、丝杆、螺母、旋转环、柔性铰链、探针、导向支架和XY位移平台。本发明利用柔性铰链，将对法向力的测量转为对柔性铰链法...
闫永达蔡建雄张景然王豫章耿延泉
一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法
一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块...
闫永达耿延泉于博文赵学森胡振江
文献传递
一种微纳双模检测加工模块
本发明公开了一种微纳双模检测加工模块，所述模块包括Z向压电位移台、支架、电容式位移传感器、电容固定座、调节座、锁紧支座、上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针，其中：所述电容式位移传感...
闫永达史文博耿延泉胡振江王桐常顺宇
文献传递
基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法
本发明公开了一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法。所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台，二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连...
闫永达赵学森耿延泉于博文胡振江
文献传递
基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法
本发明公开了一种基于力调制微刻划/微压痕过程制备拉曼增强基底上阵列微纳米结构的实验装置及方法，所述所述实验装置包括XY向精密移动控制器、Z向精密移动台控制器、纳米精度工作台、力传感器、金刚石探针、样品、宏动精密工作台，所...
闫永达张景然耿延泉蔡建雄
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