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陈少军

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：经济管理电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇经济管理
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇纳米
  • 3篇湿法刻蚀
  • 3篇陀螺
  • 3篇陀螺仪
  • 3篇微机电系统
  • 3篇微机电系统技...
  • 3篇芯片
  • 3篇刻蚀
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇压电泵
  • 2篇压缩机
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射效率
  • 2篇仪器
  • 2篇真空沉积
  • 2篇真空压缩机
  • 2篇蒸发舟

机构

  • 20篇上海交通大学

作者

  • 20篇陈少军
  • 19篇孙健
  • 17篇李以贵
  • 17篇张冠
  • 9篇高阳
  • 2篇邓勇
  • 2篇李世鹏
  • 2篇秦奎
  • 2篇白万青

年份

  • 5篇2011
  • 5篇2010
  • 9篇2009
  • 1篇2004
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于纳米压印的真空模压装置
一种材料制备技术领域的用于纳米压印的真空模压装置，拉伸试验机、精密模具固定系统、温度控制系统、基底、真空压缩机、真空罩，其中，真空罩与基底之间密封结合，真空压缩机与真空罩之间连通，精密模具固定系统由活塞和导轨组成，活塞在...
李以贵张冠孙健陈少军
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变沟道微型血液分离器
一种医疗器械技术领域的变沟道微型血液分离器，包括：储藏腔、若干条沟道、收集腔、基片和玻璃盖，其中：储藏腔设置于沟道的一端，收集腔设置于沟道的另一端，储藏腔、沟道和收集腔设置于基片之上，玻璃盖和基片相连，玻璃盖位于储藏腔、...
李以贵孙健张冠陈少军邓勇
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可测量任意方向角速度的气体陀螺仪
本发明是一种微机电技术领域可测量任意方向角速度的气体陀螺仪。包括：硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密封结构，该...
李以贵孙健张冠陈少军高阳
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基于形状记忆合金弹簧驱动可调距硅光栅及其制备方法
本发明涉及一种光学仪器技术领域的基于形状记忆合金弹簧驱动可调距硅光栅及其制备方法，所述可调距硅光栅包括平行光栅、形状记忆合金弹簧，形状记忆合金弹簧连接在平行光栅中每个光栅两边，整个平行光栅下端固定有基座，整个平行光栅最上...
李以贵陈少军孙健张冠高阳
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具有凸半球结构的硅平台制备方法
一种微机电系统技术领域的具有凸半球结构的硅平台制备方法，包括：在硅基片上旋涂一层正光刻胶，将掩模板置于硅基片正上方，利用X射线透过掩模板对硅基片上的光刻胶层进行动态曝光；按照与第一步中动态曝光相垂直的方向，对硅基片进行第...
李以贵孙健张冠陈少军高阳
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基于金属电阻的高抗冲击气体陀螺仪
本发明设计一种基于金属电阻的高抗冲击气体陀螺仪，包括压电隔膜泵、含金属电阻丝的敏感部件、喷嘴、铝管壳，其中：压电隔膜泵位于铝管壳内的底部，含金属电阻丝的敏感部件位于铝管壳中部，喷嘴安装在铝管壳内靠近开口处，压电隔膜泵的出...
李以贵孙健陈少军张冠
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纳米压印装置
本发明涉及一种纳米技术领域的纳米压印装置，包括正方形活塞、稳定装置、五边形方柱、螺栓，其中：五边形方柱中间是一个五边形空腔，在五边形方柱前表面与侧壁形成的45°拐角处的内壁上下各安装两个相同的稳定装置以及螺栓，正方形活塞...
李以贵陈少军张冠孙健
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机场建设开发公司业务发展研究
由于机场建设开发公司在浦东机场二期工程中的作用发生了变化，导致机场建设开发公司需要重新考虑业务拓展问题，本文针对这一问题展开研究。本文运用工商管理理论，通过对机场建设开发公司现状分析和探索公司可能的业务拓展，找到公司未来...
陈少军
关键词：核心竞争力项目管理体系
基于声表面波的二维数字微流体分析检测平台
本发明涉及一种微流体驱动领域的基于声表面波的二维数字微流体分析检测平台。本发明包括四组尺寸完全相同的且对称分布的金属梳状叉指电极对、图形化的疏水涂层、二维亲水导轨、铌酸锂衬底，其特征在于，底层为铌酸锂衬底，上层中央为图形...
李以贵高阳张冠孙健陈少军
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基于在空气和液体中工作的热微驱动器的制备方法
一种微电子机械系统技术领域的基于在空气和液体中工作的热微驱动器的制备方法，包括：在二氧化硅上旋涂光刻胶并进行曝光、显影处理；将真空室抽真空，将蒸发舟进行升温加电处理，最后把铝丝连续输送至蒸发舟上，制成铝层；在铝层上真空沉...
秦奎陈少军李世鹏孙健张冠
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