李以贵
- 作品数：148 被引量：245H指数：7
- 供职机构：上海应用技术学院理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目上海市浦江人才计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 曲率可控的人工复眼镜头及其制备方法
- 一种光学微器件技术领域的曲率可控的人工复眼镜头及其制备方法，该方法通过采用聚合物制作待复制镜头的凹模，采用双面法将平面复眼透镜阵列制备成曲率可控的人工复眼镜头。本发明制备所得的人工复眼镜头，包括：基底和位于基底外表面上的...
- 刘景全何庆杨春生芮岳峰李以贵
- 文献传递
- 基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备技术
- 2015年
- 介绍了2种基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备方法.一种为基于2次不同X射线光刻技术的制备方法,即第1次为通常意义的带掩膜板光刻,第2次为无掩膜板光刻;另一种为基于2次移动掩膜板光刻加1次通常意义的带掩膜板光刻技术的制备空心微针方法.结果表明:在面积为5mm×5mm的聚合物基板上制备了25根空心微针阵列.
- 李以贵颜平黄远祝宁
- 关键词：X射线光刻
- 压电超磁致伸缩复合式宽频振动能量采集器
- 一种能源技术领域的压电超磁致伸缩复合式宽频振动能量采集器，包括：框架、双稳态梁、悬臂梁和永磁铁，双稳态梁的两端固定于框架上，永磁铁附着于双稳态梁上，悬臂梁的一端固定于框架上，另一端悬空设置，正线磁致伸缩层、压电层和负线磁...
- 刘景全唐刚杨春生马华安李以贵
- 共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）被引量：1
- 2016年
- 采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制备了微压电悬臂梁结构,PZT减薄实验最好结果为减薄至8μm。镍质量块(2mm×2mm×0.6mm)采用微电铸工艺制备。通过对硅片与块材PZT的共晶键合工艺与PZT减薄技术的研究,制备出总厚度约为71μm的Si-PZT悬臂梁结构,其中硅梁厚约为47μm,PZT梁厚约为24μm。制备的微压电振动能量采集器样品的测试结果表明:在谐振频率为950 Hz,1.0g加速度激励条件下,其交流输出峰值电压可达958mV。
- 李以贵颜平黄远杉山进
- 关键词：微制造共晶键合锆钛酸铅
- 基于呼吸运动的植入式能量采集器
- 本发明公布了一种基于呼吸运动的植入式能量采集器，包括换能器，该换能器主要由活动联接结合头，双稳态压电金属片，定位导轨以及封装外壳构成；定位导轨固定于封装外壳上，与活动联接结合头滑动配合；双稳态压电金属片位于活动联接结合头...
- 刘景全何庆田鸿昌杨春生李以贵
- 曲面人工复眼及其制备方法
- 一种光学仿生技术领域的曲面人工复眼及其制备方法，包括：基底和位于基底外表面上的若干复眼透镜，其中：每一个复眼透镜为圆形或六边形结构，其直径或对角线长度为80至250微米，高度为8至25微米。本发明能够使改曲面和现有的CC...
- 刘景全何庆芮岳峰杨春生李以贵
- 文献传递
- 声表面波驱动的二维微光学平台及其制造方法
- 一种微细加工技术领域的声表面波驱动的二维微光学平台及其制造方法。本发明二维微光学平台包括：基底、叉指换能器和滑动镜面，其中，基底是128°Y-X的铌酸锂单晶体，其上是相互交叉的叉指电极形成的叉指换能器，滑动镜面是活动部件...
- 李以贵张俊峰
- 文献传递
- 基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器
- 一种微机电技术领域的基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器，包括：圆形框架和设于圆形框架内的PDMS膜、若干压电悬臂梁和质量块，其中：若干压电悬臂梁径向内嵌于PDMS薄膜内且一端固定在圆形框架上另一端悬空，质量...
- 刘景全马华安唐刚李以贵杨春生
- 文献传递
- 可测量任意方向角速度的气体陀螺仪
- 本发明是一种微机电技术领域可测量任意方向角速度的气体陀螺仪。包括：硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密封结构，该...
- 李以贵孙健张冠陈少军高阳
- 文献传递
- 可变波长光纤光栅滤波器用微驱动器的研制
- 2003年
- 为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构。实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可变光纤光栅滤波器用驱动器,该微型驱动器采用电磁式驱动,由上下两层线圈构成,每个线圈有21匝平面线圈,产生约0.2μNm的扭矩,对应光纤光栅的反射波长变化约5nm。它可应用于可调谐光纤光栅滤波器的驱动。
- 李以贵佐佐木实羽根一博
- 关键词：光纤光栅滤波器微驱动器微细加工技术
