韩主恩
- 作品数:4 被引量:0H指数:0
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- 多离子源强流注入机
- 一种多离子源强流离子注入装置,可以安装两个或两个以上金属蒸汽真空弧离子源或气体离子源,并以多工作模式进行注入,即产生至少一种元素的离子束,由人工或计算机控制,按一定的程序,改变离子束的能量、强度、注入时间和顺序,在工件表...
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- 强流金属离子源
- 很多离子源都能产生金属离子束,但能够产生强流金属离子束的离子源并不多,特别要产生难熔金属离子束更是极其困难.为了发展材料表面改性技术和其它应用的需要,近年来已经研制成几种强流金属离子源,例如微波离子源,强流脉冲真空弧离子...
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- 大束斑强流金属离子源
- 1992年
- 介绍了新研制成的 MEVVA-Ⅱ和 MEVVA-ⅡA 离子源的结构特点和某些实验结果.新源采用大面积引出,引出直径60mm.该源脉冲工作,最大束流占空比为6%,已引出 Mg,Al,Ti,V,Cr,Fe,Ni,Cu,Zn,Y,Zr,Mo,Nb,Sn,W 和 Pb 等金属元素的离子,平均束流强度在10mA 以上,最大平均束流强度已超过20mA.MEVVA-ⅡA 源还采用了可推进的阴极结构,使阴极寿命大大提高,在引出平均束流10mA(Ti)条件下,已连续稳定运行16h.
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- 关键词:离子源真空弧放电
- 长寿命金属蒸汽真空弧离子源
- 一种金属蒸汽真空弧离子源的新型阴极结构,触发电极的端面低于阴极和绝缘套的端面,绝缘套经过导电化处理,降低了触发电压,减少了金属蒸汽对绝缘套的污染,提高了触发次数和离子源工作的稳定性。由于采用了推进式阴极,使单个阴极的寿命...
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