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文献类型

  • 25篇中文专利

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 20篇电子束直写
  • 16篇光栅
  • 13篇入射
  • 13篇垂直入射
  • 11篇偏振
  • 11篇光栅周期
  • 9篇衍射
  • 9篇衍射效率
  • 7篇透射
  • 5篇透射光
  • 5篇吸收器
  • 4篇电介质
  • 4篇深刻蚀
  • 4篇偏振光
  • 4篇介质
  • 4篇刻蚀
  • 3篇窄带
  • 3篇偏振光谱
  • 3篇微电子
  • 3篇光谱

机构

  • 25篇中国科学院上...

作者

  • 25篇周常河
  • 25篇吴俊
  • 13篇曹红超
  • 8篇李树斌
  • 4篇余俊杰
  • 3篇朱锋
  • 3篇刘昆
  • 2篇孙文婷
  • 2篇卢炎聪
  • 1篇黄巍

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 4篇2017
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 5篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2011
25 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
高效率石英双层错移光栅
一种用于1310纳米波长的TE偏振的垂直入射的高效率石英双层错移光栅,该光栅的光栅周期为1760~1770纳米,占空比为0.582,偏移量为565~575纳米,总的光栅深度为2810~2830纳米,上下光栅结构参数相同,...
李树斌周常河曹红超吴俊
文献传递
高效率斜双层光栅
一种用于1064纳米波长的TE偏振的垂直入射的-1级高效率斜双层光栅,该光栅的第一层材料是石英,第二层材料是Ta<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>,基底是石英,两层光栅的深度相同。该光栅的光栅周期为950...
周常河李树斌曹红超吴俊刘昆卢炎聪
文献传递
1×2平行光分束双面集成光栅
一种用于1064纳米波长的TM偏振的石英的1×2平行光分束双面集成光栅,该光栅的周期为797~803纳米,脊深为1707~1711纳米,占空比为0.5,用于实现-1级高效率衍射的光栅的周期为800纳米,脊深为3417纳米...
周常河李树斌曹红超吴俊朱锋
文献传递
TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅
一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅,该分束光栅的光栅周期为1830~1850纳米,每个光栅周期内两个脊宽分别为143~146纳米和500~508纳米,两脊之间距为594~597纳米,脊深为872~...
周常河吴俊曹红超
基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池
一种用于可见光波段(300-800nm)的基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池,该太阳能电池的顶部减反薄膜厚度为55~60纳米,中间的光栅吸收层周期为505~515纳米、厚度和占空比分别为95~105纳米、0.7...
吴俊周常河
文献传递
基于单层石墨烯和布拉格光栅的光谱选择性吸收器
一种基于石墨烯单层和布拉格光栅的超窄带TE偏振光谱选择性吸收器,该吸收器包括自上而下的电介质光栅层,单层石墨烯和布拉格光栅层,所述电介质光栅层的周期、脊宽和厚度分别为574~576纳米、548~550纳米和219~221...
吴俊周常河李民康项长铖
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基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池
一种用于可见光波段(300-800nm)的基于减反结构和导模谐振的薄膜非晶硅太阳能电池,该太阳能电池的顶部减反薄膜厚度为55~60纳米,中间的光栅吸收层周期为505~515纳米、厚度和占空比分别为为95~105纳米、0....
吴俊周常河
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TE偏振垂直入射-1级高效率倾斜透射石英光栅
一种用于1550纳米波长的TE偏振垂直入射-1级高效率倾斜透射石英光栅,其特征在于光栅的光栅周期为1460~1480纳米,占空比为0.328,倾斜角33~35度,光栅深度为1060~1065纳米。当TE偏振光垂直入射时,...
李树斌周常河曹红超吴俊孙文婷朱锋
文献传递
TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅
一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅,该分束光栅的光栅周期为1830~1850纳米,每个光栅周期内两个脊宽分别为143~146纳米和500~508纳米,两脊之间距为594~597纳米,脊深为872~...
周常河吴俊曹红超
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TE偏振光谱选择性吸收器
一种用于可见光波段(400-800nm)的TE偏振光谱选择性吸收器,该吸收器的顶部光栅的周期、占空比和厚度分别为310~314纳米、0.35~0.37、216~220纳米,中间电介质隔离层的膜厚为103~107纳米。当T...
吴俊周常河曹红超
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共3页<123>
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