张华坤
- 作品数：9 被引量：30H指数：3
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划安徽高等学校省级优秀青年人才基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程一般工业技术交通运输工程更多>>
- 用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究
- 纳米尺度的线宽测量一直以来都是纳米计量领域的重点和难点，集成电路的快速发展又对线宽测量提出了更高的要求。作为扫描探针显微镜(SPM)的一种，原子力显微镜(AFM)可实现准三维测量，在纳米尺度的线宽测量中被广泛应用。不过，...
- 张华坤
- 文献传递
- 原子力显微镜的双探针接触测量研究被引量：2
- 2016年
- 为实现双探针原子力显微镜的探针对准，用探针A对探针B的成像进行了深入的研究。首先对音叉探针进行有限元仿真，分析探针的机械特性。其次用锁相放大器获取探针的幅度和频率信号，让探针接近样品（硅片）以获得系统的分辨率。最后在YOZ平面用探针A对探针B扫描成像，逐步缩小扫描范围并同时减小扫描步进。实验表明，探针的分辨率优于1nm，双探针对准精度可达5nm。
- 张华坤高思田李伟
- 关键词：计量学原子力显微镜
- 基于知识图谱的mashup研究可视化分析被引量：5
- 2012年
- 借用文献计量学的方法首先对ISI Web of Knowledge数据库中收录的以mashup为主题的文献的研究力量分布进行分析,然后利用信息可视化软件Cite Space绘制出mashup研究的关键期刊、文献的知识图谱,对其进行详细的阐述。
- 朱光董尹张华坤
- 关键词：MASHUP可视化分析知识图谱
- 双探针原子力显微镜视觉对准系统被引量：6
- 2014年
- 传统的原子力显微镜(AFM)受针尖形状和放置方式的影响很难测量线条的宽度和两个侧壁的形状,故本文提出采用双探针对顶测量方案来消除AFM针尖形状对测量结果的影响。介绍了一种基于机器视觉的双探针原子力显微镜对准系统,该系统将两个探针接触到一起,实现了双探针在三维方向上的对准。系统采用具有亚微米级分辨率的镜头,配合高分辨率的CCD来获得探针的清晰图像,用于在水平和垂直两个方向实时监控双探针的运动情况。采用基于石英音叉式的自传感自调节的原子力探针,无需外加光学探测系统,缩小了系统体积,避免了杂散光对视觉对准系统的干扰。最后对针尖进行了亚像素边缘提取,精确地获取了探针之间的相对位置,实现了亚微米级的双探针对准(1μm以内)。该结论由探针之间距离与幅度/相位曲线得到了验证。
- 张华坤高思田卢明臻李伟王龙龙
- 关键词：尺寸测量视觉引导
- 复杂背景下TFT-LCD表面缺陷检测系统的设计被引量：13
- 2011年
- 设计了背景去除算法和缺陷区域检测算法,对复杂背景与低对比度条件下采集的TFT-LCD图像进行处理,利用一维傅里叶变换和全尺寸小波变换提取缺陷特征信息,可以较准确地检测出缺陷区域。搭建了在线检测系统平台,通过辅助光源和高速线阵相机采集图像,由图像采集卡保存至计算机中,利用Matlab编写上层图像处理软件进行在线检测。实验对不同的光照条件下的检测结果进行分析,系统可以准确检测出TFT-LCD面板的表面缺陷区域,识别率达96%以上,扫描时间间隔小于80μs,满足系统实时性的要求。
- 朱光朱学芳张华坤
- 关键词：TFT-LCD
- 双探针原子力显微镜针尖对准方法研究
- 2015年
- 双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜（AFM）的探针形状对关键尺寸（CD）测量的影响。测量前需要将两个探针针尖（A和B）接触到一起作为测量零点，为实现双探针纳米级对准，提出一种渐进式平面扫描方法。首先，通过视觉图像引导两个探针对准到1μm以内。然后，两个探针继续接近，同时探针A在YOZ平面内对探针B扫描成像，并逐步缩小扫描范围和扫描步进，得到其针尖的纳米级坐标（YB，ZB）。最后，将探针A在Y和Z方向分别移动至YB和ZB，在X方向继续接近探针B直至两探针接触。实验证明，该方法可有效地实现双探针对准，且对准精度为10nm。
- 张华坤高思田李伟施玉书王鹤群
- 关键词：计量学原子力显微镜
- 一种背光源玻璃底板缺陷检测新方法
- 2015年
- 背光源玻璃底板表面缺陷检测的难点在于其扫描图像受到不均匀光照之影响,且具有较为复杂的纹理信息。为有效分割缺陷,必须在拉平背景信号与纹理信号的同时,增强Mura信号。其中背景信号与纹理信号的信息存在于小波近似系数中,而Mura信号的信息存在于细节系数中。利用图像均值代替近似系数,利用对比敏感度函数加权细节系数,通过小波反变换将系数合成,使Mura信号得到增强,再利用三阈值法分割背光源玻璃底板的亮斑缺陷与毛发缺陷,最后根据图像中上下两行的关系减少误判率。实验结果表明,该算法对光照不敏感,具有良好的鲁棒性。
- 程和生程和侠张华坤刘路路
- 关键词：小波分析
- 高速高精度在线检测技术中的图像识别
- 本文依托于国家863项目“精密组装生产线的高速高精度视觉在线检测技术”,针对背光源表面扫描图像与TFT-LCD面板的扫描图像,研究在复杂背景与低对比度条件下的目标(缺陷)识别问题。
根据背光源表面扫描图像与TFT-...
- 张华坤
- 关键词：机器视觉图像识别傅里叶变换小波变换在线检测
- 文献传递
- 车牌自动识读中的定位技术被引量：3
- 2010年
- 汽车牌照自动识读系统是机器视觉和模式识别技术在现代智能交通领域中的一项重要应用,其中车牌定位技术是车牌自动识读系统正确识读的前提和关键。本文在分析了现有定位技术的优缺点基础上,提出了一种综合定位算法。该算法通过对视频图像中运动车辆的检测,消除复杂背景的干扰,利用区域生长、阴影消除、彩色分割及形态学分析等图像处理方法,获取车牌的精确定位。最后给出实验结果,实验表明,该算法有效定位率达到92%,具有较好的实用价值。
- 张华坤杨永跃
- 关键词：视频图像车牌定位
