李伟
- 作品数：93 被引量：103H指数：6
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>
- 扫描电子显微镜校准规范
- 李伟高思田施玉书
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
- 施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
- 单晶硅晶格间距的测量技术进展及应用被引量：1
- 2021年
- 单晶硅晶格间距是许多重要物理常数测量的基础。本文介绍了硅晶格间距测量技术的发展历程,包括X射线干涉仪直接测量和晶格比较仪间接测量两种方法,以及影响测量结果不确定度的关键因素。得益于晶格间距测量的进展,在纳米尺度,硅晶格间距被国际计量局(BIPM)批准成为新的米定义复现形式。最后介绍了硅晶格在计量学中的应用,以及基于硅晶格实现纳米几何量测量的溯源体系的研究趋势。
- 李伟施玉书李琪黄鹭李适高思田
- 关键词：单晶硅X射线干涉仪
- 一种光学检测系统及装置
- 本发明公开了一种光学检测系统及装置，所述系统包括由上至下依次排列的激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、透反镜及测量透镜；非偏振分光镜位置水平对应光电接收器A，透反镜与测量透镜之间固定有λ/4波片，偏振分光镜位置水平对应光电...
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- 文献传递
- 垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪
- 本实用新型公开了一种垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪，垂直式表面粗糙度测头包括固定架、移动架、位移测量模块、针杆、触针和导向装置，移动架竖向滑动连接于固定架上，移动架上设置针杆，移动架的底板上设有导向装置，导向装置能够...
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- 文献传递
- 颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质
- 本申请涉及一种颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质。基于多个角度与多个角度颗粒粒径、多个样品浓度与多个第一颗粒粒径，分别对多个角度颗粒粒径、多浓度条件下颗粒粒径采用多项式拟合的数学方法进行拟合，获得颗粒粒径随角度...
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- 计量型扫描电子显微镜测控系统研究被引量：2
- 2016年
- 为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10nm。
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- 关键词：计量学运动控制模块激光外差干涉图像采集与处理
- 基于激光溯源的纳米台阶高度标准物质研制与计量技术
- 2024年
- 随着半导体产业的快速发展,高精度极小尺寸三维纳米制造技术给纳米测量技术提出了更高的要求,急需开发与之相应的纳米几何量标准物质来满足这一日益迫切的需求。为实现我国纳米台阶高度标准物质的可控制备和纳米高度量值的可溯源性,我国自主研发了与国际水平相当的系列纳米台阶高度标准物质,并基于激光波长实现了米定义直接溯源,为支撑多领域技术研究,打破国外垄断,完善我国纳米几何量值传递体系,促进纳米产业的发展做出了重要贡献。通过对国内外纳米台阶高度标准物质的相关研究进行分析对比,就纳米台阶高度标准物质的研制方法及计量技术进行综述,以期为纳米台阶高度标准物质及其他类型的微纳米几何量标准物质的研究提供参考与展望。
- 王琛英景蔚萱张雅馨李伟张易军李常胜施玉书蒋庄德
- 关键词：计量学标准物质溯源性
- 用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置
- 本实用新型公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调...
- 李琪高思田李伟施玉书黄鹭黎雄威李适张树
- 文献传递
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
- 施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
- 文献传递
