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张宇峰

作品数:3 被引量:19H指数:1
供职机构:浙江大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇等离子体
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体源
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇蒸发
  • 1篇蒸发装置
  • 1篇匹配网络
  • 1篇无机
  • 1篇无机化合物
  • 1篇稀土铁石榴石
  • 1篇化合物
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇IBAD
  • 1篇磁光
  • 1篇磁光材料
  • 1篇磁光性能

机构

  • 3篇浙江大学
  • 1篇中国科学院等...

作者

  • 3篇张宇峰
  • 2篇韩高荣
  • 2篇张溪文
  • 1篇任兆杏

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2003
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
一种制备无机化合物薄膜的装置
本实用新型的制备无机化合物薄膜的装置由电子束蒸发装置、基板和感应耦合等离子源构成,感应耦合等离子源包括ICP发射装置、匹配网络、射频电源和流量计,其中电子束蒸发装置、ICP发射装置和衬底置于同一真空室内。工作时,电子束蒸...
张溪文韩高荣张宇峰
文献传递
稀土铁石榴石薄膜的制备及磁光性能测试
在高速、大容量单模光纤通信系统中,波分复用技术已被广泛采用,光纤光隔离器成为不可缺少的关键器件。从材料科学研究的角度来看,必须设法提高作为隔离器核心的磁光材料的性能。由于掺Bi稀土铁石榴石在可见及近红外区能显著地增强磁光...
张宇峰
关键词:磁光材料磁光性能
文献传递
离子束辅助薄膜沉积被引量:19
2003年
离子束辅助沉积(IBAD)是在气相沉积的同时辅以离子束轰击的薄膜制备方法,可在低温下合成致密、均匀的薄膜。介绍了IBAD技术的概况,列举了具体应用领域,描述了射频ICP离子源辅助电子束蒸发,最后对IBAD的前景加以评论。
张宇峰张溪文任兆杏韩高荣
关键词:IBAD等离子体光学性能
共1页<1>
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