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朱一平

作品数：13 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇声学
  • 6篇声学器件
  • 5篇测距
  • 5篇测距系统
  • 5篇超声
  • 4篇铁电
  • 4篇铁电薄膜
  • 3篇多层膜
  • 3篇压电
  • 3篇永磁
  • 3篇永磁材料
  • 3篇振膜
  • 3篇抗干扰
  • 3篇抗干扰性
  • 3篇硅衬底
  • 3篇超声定位
  • 3篇衬底
  • 3篇磁材料
  • 3篇磁电
  • 3篇磁电阻

机构

  • 13篇清华大学

作者

  • 13篇任天令
  • 13篇刘理天
  • 13篇朱一平
  • 10篇杨轶
  • 3篇欧阳可青
  • 3篇伍晓明
  • 2篇蔡坚
  • 2篇王海宁
  • 1篇张宁欣
  • 1篇王水弟
  • 1篇贾松良

传媒

  • 1篇第九届全国敏...

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 6篇2005
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于磁电阻效应的微声学器件
本发明公开了属于半导体器件领域的一种基于磁电阻效应的微声学器件。该器件由沉积有硬磁薄膜的可动振膜结构和沉积有磁电阻多层膜的固定结构构成。其可动振膜结构，由底层向上依次由硅衬底、二氧化硅、氮化硅层、永磁材料层和二氧化硅层复...
任天令刘理天欧阳可青朱一平
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基于磁电阻效应的微声学器件
本发明公开了属于半导体器件领域的一种基于磁电阻效应的微声学器件。该器件由沉积有硬磁薄膜的可动振膜结构和沉积有磁电阻多层膜的固定结构构成。其可动振膜结构，由底层向上依次由硅衬底、二氧化硅、氮化硅层、永磁材料层和二氧化硅层复...
任天令刘理天欧阳可青朱一平
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硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法
硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法属于微声学传感器技术领域，其特征在于：上下电极对分为两类，分别位于微声学传感器振膜的中心区域和振膜的边缘区域，两个区域内的电极对分别串联，然后两个区域的串联电极对再串联，...
任天令杨轶朱一平刘理天
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基于硅微加工技术的超声定位微声学系统
本发明公开了属于定位与测距技术领域的一种基于硅微加工技术的超声定位与测距微声学系统。是用微声学器件铁电微扬声器作为超声波发射源，微声学器件铁电微麦克风作为超声波接收器；微扬声器和微麦克风的发射面和接收面都指向被测物体；超...
任天令朱一平杨轶刘理天蔡坚王水弟王海宁贾松良
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基于磁电阻效应的微声学器件
本实用新型公开了属于半导体器件领域的一种基于磁电阻效应的微声学器件。该器件由沉积有硬磁薄膜的可动振膜结构和沉积有磁电阻多层膜的固定结构构成。其可动振膜结构，由底层向上依次由硅衬底、二氧化硅、氮化硅层、永磁材料层和二氧化硅...
任天令刘理天欧阳可青朱一平
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面向定位与测距应用的微超声器件制作工艺
本发明公开了一种面向定位与测距应用的微超声器件的制作工艺。该微超声器件工艺结合了MEMS(微电子机械系统)加工技术，工艺步骤简单，能很好的提高产品的可靠性，极大地促进了产品的微型化和集成化，并有利于大批量的生产，从而降低...
任天令朱一平杨轶刘理天
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用于超声定位与测距的微声学器件
本实用新型公开了属于半导体器件领域的一种用于超声定位与测距的微声学器件，由制作有铁电薄膜等多层薄膜材料所构成。自下而上依次为硅杯衬底、热氧化的二氧化硅、钛层－下电极铂层、PZT薄膜层/AlN薄膜层、上电极铂层、等离子增强...
任天令朱一平杨轶刘理天
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空间位置检测系统及其检测方法
本发明公开了属于超声传感技术领域的一种空间位置检测系统及其检测方法。该空间位置检测系统，由超声发射装置、超声接收装置、光同步信号装置、数据处理系统和数据传输接口这几部分组成。主要应用于物体相对于某个参照坐标系的三维或二维...
任天令朱一平伍晓明杨轶刘理天
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微硅压电扬声器
本文介绍一种利用微机械技术(MEMS)制备的压电式扬声器的制备工艺、测试技术和测试结果.扬声器的振膜是由压电材料锆钛酸铅(PZT)、二氧化硅和Ti/Pt电极组成的复合膜.通过测试各层材料的残余应力,综合考虑器件振膜的应力...
伍晓明杨轶朱一平张宁欣蔡坚王海宁任天令刘理天
关键词：扬声器压电薄膜PZTMEMS
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硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法
硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法属于微声学传感器技术领域，其特征在于：上下电极对分为两类，分别位于微声学传感器振膜的中心区域和振膜的边缘区域，两个区域内的电极对分别串联，然后两个区域的串联电极对再串联，...
任天令杨轶朱一平刘理天
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