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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇金刚石薄膜

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇常超
  • 1篇王冠中
  • 1篇叶祉渊
  • 1篇薛剑耿
  • 1篇吴气虹
  • 1篇廖源
  • 1篇尚乃贵
  • 1篇王代冕
  • 1篇牛晓滨
  • 1篇揭建胜
  • 1篇方容川
  • 1篇马玉蓉

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2001
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用被引量:3
2001年
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
方容川常超廖源叶祉渊薛剑耿王冠中马玉蓉尚乃贵牛晓滨王代冕吴气虹揭建胜
关键词:金刚石薄膜
共1页<1>
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