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王宇

作品数：301 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：电子信息产业发展基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 294篇专利
  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇科技成果

领域

  • 18篇电子电信
  • 10篇机械工程
  • 8篇自动化与计算...
  • 6篇理学
  • 5篇轻工技术与工...
  • 3篇一般工业技术
  • 3篇文化科学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 131篇激光
  • 92篇激光器
  • 55篇分子激光器
  • 51篇分子
  • 48篇准分子
  • 45篇准分子激光
  • 38篇准分子激光器
  • 37篇光学
  • 24篇感器
  • 24篇传感
  • 24篇传感器
  • 23篇光刻
  • 23篇放电
  • 21篇气体激光
  • 21篇密封
  • 20篇物镜
  • 20篇光束
  • 20篇波前
  • 18篇气体激光器
  • 16篇光源

机构

  • 301篇中国科学院光...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇北京中视中科...

作者

  • 301篇王宇
  • 181篇周翊
  • 103篇陈进新
  • 94篇吴晓斌
  • 92篇赵江山
  • 92篇王魁波
  • 69篇齐月静
  • 68篇罗艳
  • 67篇张罗莎
  • 66篇丁金滨
  • 64篇刘斌
  • 58篇崔惠绒
  • 55篇卢增雄
  • 55篇齐威
  • 53篇沙鹏飞
  • 51篇张立佳
  • 51篇苏佳妮
  • 46篇宋兴亮
  • 43篇李慧
  • 41篇范元媛

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇2009国际...

年份

  • 1篇2024
  • 4篇2023
  • 2篇2020
  • 16篇2019
  • 42篇2018
  • 40篇2017
  • 39篇2016
  • 45篇2015
  • 31篇2014
  • 57篇2013
  • 19篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 2篇2005
共 301 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种激光器温控系统
本实用新型公开了一种激光器温控系统，其中该激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置，所述放电腔在工作时会产生热量，所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度，多个温度控制装置用于冷却或加热放电...
张立佳吴晓斌赵江山丁金滨陈进新李慧刘斌崔惠绒周翊王宇
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一种材料分压放气率测试器
本实用新型公开了一种材料分压放气率测试器，包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔；真空泵组通过插板阀与测量室连接，限流小孔的前端通过角阀与测量室连接，后端直接与真空泵组连接；通过四极质谱仪和分离规，分别测量测量室为空...
张罗莎王魁波吴晓斌罗艳陈进新谢婉露王宇
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环形泵浦激光器
本实用新型公开了一种环形泵浦激光器，包括泵浦光输入装置、激光腔和泵浦光回收装置，泵浦光输入装置用于产生泵浦光并入射到所述激光腔内，激光腔用于对激光振荡输出，泵浦光回收装置用于将从所述激光腔泄露的泵浦光回收后重新输入到激光...
范元媛王倩翟晔宋兴亮张立佳蔡茜玮彭卓君崔惠绒周翊王宇
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一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统
本实用新型公开了一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统，测试设备包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)，真空获得装置包括分别连接到各腔室的真空泵单元和真空计单元、连接于腔室之间的第一、第二插板阀(...
陈进新王宇吴晓斌谢婉露王魁波崔惠绒
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光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统
本发明公开了一种双腔准分子激光器整机框架系统，所述双腔准分子激光器包括有主振荡放电腔、功率放大腔以及与该两个腔体相关的光学系统，所述系统包括安装基座(1)、基础框架(2)、光学系统框架(3)和放电腔框架(4)，其中，所述...
丁金滨齐威刘斌沙鹏飞周翊王宇赵江山
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一种包含新型放电腔的激光光源系统
本实用新型公开了一种包含放电腔的激光光源系统，属于气体激光技术领域，解决了现有高压脉冲电源中，因外部条件限制激光光源系统更大能量、更高重频的发展要求的技术问题。该激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成。所述放电...
陈进新王宇
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一种调焦调平装置
一种调焦调平装置，由照明系统、成像系统和探测系统组成，其中：成像系统中包括有第一偏振片、1/4波片和SAVART板组成的起偏光路，由该起偏光路将接收到的硅片反射光分成两束偏振方向垂直，空间上错开半个周期的两幅图像。本发明...
刘广义齐月静王宇周翊
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用于高压脉冲电源的过电流抖动检测电路
一种用于高压脉冲电源的过电流抖动检测电路，包括一高压脉冲电路和一参考信号发生电路，其中，高压脉冲电路放电主回路通过一电流互感器与参考信号发生电路的输出端连接至一电压比较器。本实用新型的检测电路可以检测到发生在0～π/4和...
马英麒徐向宇王宇周翊
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一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法
本发明公开了一种多孔陶瓷的准分子激光抛光和检测方法，其特征在于，包括以下步骤：利用表面粗糙度分析设备扫描多孔陶瓷待加工面的表面轮廓，使用光束均匀器和聚焦透镜实现准分子激光光束的聚焦和匀化，确定抛光用准分子激光的离焦量，规...
郭馨王宇丁金滨刘斌张立佳周翊赵江山齐威
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基于等腰直角三角棱镜的激光线宽压窄扩束装置
本实用新型公开了一种激光线宽压窄扩束装置，包括光束扩束装置，光束扩束装置用于对激光进行一维扩束，且所述光束扩束装置由单个棱镜或棱镜组构成，所述单个棱镜和组成棱镜组的棱镜均为等腰直角三棱镜。本实用新型具有结构简单、加工精度...
李慧赵江山单耀莹沙鹏飞宋兴亮蔡茜玮彭卓君范元媛张立佳鲍洋周翊王宇
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