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陈进新

作品数：124 被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 116篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇机械工程
  • 5篇理学
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学

主题

  • 21篇极紫外
  • 19篇密封
  • 19篇分压
  • 17篇激光
  • 15篇法兰
  • 14篇光刻
  • 13篇紫外光刻
  • 13篇辐照
  • 12篇质谱计
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 12篇激光器
  • 11篇真空
  • 11篇污染
  • 10篇光源
  • 10篇放电
  • 9篇液滴
  • 9篇质谱
  • 9篇碎屑
  • 9篇漏率

机构

  • 124篇中国科学院光...
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 124篇陈进新
  • 103篇王宇
  • 96篇吴晓斌
  • 88篇王魁波
  • 75篇张罗莎
  • 75篇罗艳
  • 41篇周翊
  • 37篇崔惠绒
  • 15篇赵江山
  • 13篇丁金滨
  • 13篇刘斌
  • 10篇张立佳
  • 8篇王宇
  • 4篇李慧
  • 3篇齐威
  • 3篇沙鹏飞
  • 1篇徐向宇
  • 1篇徐向宇
  • 1篇张鑫

传媒

  • 4篇激光与光电子...
  • 1篇空间科学学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 22篇2017
  • 28篇2016
  • 17篇2015
  • 15篇2014
  • 19篇2013
  • 6篇2012
  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 124 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法
本发明公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元。本发明还提出了测试材料辐射致放气量的两种方法：动态法和质谱法，均可在线实时测试，其中使用动...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
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一种准分子激光器用贯流风机叶轮
一种准分子激光器用贯流风机叶轮，由若干节叶轮组成，叶轮的两端各连接一端法兰，每节叶轮之间均有一中盘，每两个中盘之间固定有周向布置的若干片风叶，每节叶轮中相邻的两片风叶之间呈一角度排列。本发明改善了叶轮中风叶的布局方式，可...
丁金滨刘斌陈进新王宇周翊赵江山
真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法，该测量系统包括超高真空室(2)、测试室(6)、样品室(7)，超高真空室(2)与测试室(6)通过小孔(4)相连通，测试室(6)通过气体管道(14)与样品室(7)相连接...
王魁波吴晓斌王宇陈进新张罗莎罗艳谢婉露
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一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置
本发明公开了一种液滴阵列产生装置，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列。该装置能够...
张罗莎王宇吴晓斌王魁波罗艳陈进新谢婉露丁功明
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气体激光光源的放电腔
本实用新型公开了一种新型气体放电腔，包括风机、导流片、热交换器、电极、导流吸尘板和均匀丝网。该气体放电腔采用轴流风机、导流吸尘板和均匀丝网等，降低了噪音和激波的产生，减少了声场对放电腔的影响，并使放电区域流速更大、流场更...
陈进新王宇
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一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统
本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，...
谢婉露吴晓斌陈进新王魁波张罗莎罗艳周翊王宇崔惠绒
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一种材料辐射致气体渗透的测试装置
本实用新型公开了一种材料辐射致气体渗透的测试装置，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明系统，所述抽气系统包括三...
吴晓斌罗艳王魁波陈进新谢婉露张罗莎
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一种弹性金属矩形密封装置
本实用新型公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新谢婉露罗艳周翊王宇崔惠绒
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一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法
本发明公开了一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置以及气体渗透率的测试方法，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
一种液滴阵列产生器
本实用新型公开了一种液滴阵列产生器，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列，此液滴阵...
张罗莎王宇吴晓斌王魁波罗艳陈进新谢婉露丁功明
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