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胡亚伟

作品数：1 被引量：14H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇力学性能
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇TIN薄膜
  • 1篇TIN膜
  • 1篇力学性

机构

  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇张彦华
  • 1篇胡亚伟
  • 1篇蔡荀
  • 1篇武咏琴
  • 1篇李刘合
  • 1篇刘佑铭

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
TiN膜的制备和进展被引量：14
2004年
论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势。
武咏琴李刘合张彦华胡亚伟刘佑铭蔡荀
关键词：TIN薄膜力学性能工艺参数
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