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武咏琴

作品数:2 被引量:20H指数:2
供职机构:北京航空航天大学机械工程及自动化学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇碳膜
  • 1篇偏流
  • 1篇力学性能
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石碳膜
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱研究
  • 1篇RAMAN
  • 1篇RAMAN光...
  • 1篇TIN薄膜
  • 1篇TIN膜
  • 1篇力学性

机构

  • 2篇北京航空航天...
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇香港城市大学

作者

  • 2篇张彦华
  • 2篇武咏琴
  • 2篇李刘合
  • 1篇崔旭明
  • 1篇张海泉
  • 1篇胡亚伟
  • 1篇蔡荀
  • 1篇夏立芳
  • 1篇朱剑豪
  • 1篇刘佑铭

传媒

  • 1篇金属学报
  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 2篇2004
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究被引量:6
2004年
分别采用带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光谱特点。对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响。结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp^3杂化碳键的形成。
李刘合武咏琴崔旭明张海泉张彦华夏立芳朱剑豪
关键词:RAMAN光谱类金刚石碳膜偏流
TiN膜的制备和进展被引量:14
2004年
论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势。
武咏琴李刘合张彦华胡亚伟刘佑铭蔡荀
关键词:TIN薄膜力学性能工艺参数
共1页<1>
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