刘梅
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 微探针纳米尺度振动测试的实验研究
- 2010年
- 微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件,其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法,对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移分辨率的双频激光外差干涉光学测量系统,对微探针纳米尺度振动特性进行了测试对比实验,并对SPM标定样块进行了比对分析。实验结果验证了双频激光外差干涉测量方法的可行性和其应用价值。
- 林浩山李玉和王东生李庆祥刘梅
- 关键词：光学测量外差干涉
- 基于BP神经网络的二维精密扫描台控制技术及试验研究
- 2008年
- 扫描控制系统是纳米测量系统的重要组成部分,其性能影响整个系统的测量精度。本文介绍了二维精密扫描台的设计——柔性铰链与压电控制结合的方式,综述了BP神经网络的概念,并通过BP神经网络建模,设计了扫描台的控制方法,最后介绍了试验设备,并通过试验测试得到了最佳控制参数,验证得到建模控制方案与实际位移相吻合。
- 刘梅李玉和郑静琳林浩山
- 关键词：压电陶瓷BP网络神经元隐层
- 微探针振动特性的理论分析及实验研究
- 力学传感器微探针作为原子力显微镜的重要部件,其固有振动频率影响着系统的主要性能。本文通过能量关系,分析并推导了微探针共振频率的理论公式,采用有限元分析软件ANSYS进行了有限元仿真分析,并采用测量仪器对微探针共振频率进行...
- 刘梅李玉和林浩山廖小华
- 关键词：有限元法谐振频率
- 文献传递
