林浩山
- 作品数：7 被引量：20H指数：2
- 供职机构：广西师范大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 微探针纳米尺度振动测试的实验研究
- 2010年
- 微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件,其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法,对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移分辨率的双频激光外差干涉光学测量系统,对微探针纳米尺度振动特性进行了测试对比实验,并对SPM标定样块进行了比对分析。实验结果验证了双频激光外差干涉测量方法的可行性和其应用价值。
- 林浩山李玉和王东生李庆祥刘梅
- 关键词：光学测量外差干涉
- 用于超精表面损伤检测的微探针系统设计与测试
- 2007年
- 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面微观形貌轮廓纳米尺度微裂纹损伤检测要求越来越高。设计灵敏度高、重现性好、响应快速的微探针系统是实现纳米尺度分辨率、大视场损伤检测的关键部件之一。文中对设计的微探针系统受力阻尼谐振过程进行了分析,给出共振频率的测试方法。在此基础上进行了共振频率测试对比试验,并对微探针振动进行了测试。试验结果表明,设计的微探针系统满足检测性能要求。
- 林浩山李玉和王东生
- 关键词：光学测量
- 压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究被引量：1
- 2010年
- 压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性,计算出其他上升或下降回线,同时得到其逆模型。利用逆模型对压电驱动器进行开环控制实验结果表明,实验系统控制误差范围为-36^+47 nm。
- 胡小根李玉和林浩山童晓蕾祁鑫
- 关键词：压电驱动器开环控制
- 基于BP神经网络的二维精密扫描台控制技术及试验研究
- 2008年
- 扫描控制系统是纳米测量系统的重要组成部分,其性能影响整个系统的测量精度。本文介绍了二维精密扫描台的设计——柔性铰链与压电控制结合的方式,综述了BP神经网络的概念,并通过BP神经网络建模,设计了扫描台的控制方法,最后介绍了试验设备,并通过试验测试得到了最佳控制参数,验证得到建模控制方案与实际位移相吻合。
- 刘梅李玉和郑静琳林浩山
- 关键词：压电陶瓷BP网络神经元隐层
- 微探针振动特性的理论分析及实验研究
- 力学传感器微探针作为原子力显微镜的重要部件,其固有振动频率影响着系统的主要性能。本文通过能量关系,分析并推导了微探针共振频率的理论公式,采用有限元分析软件ANSYS进行了有限元仿真分析,并采用测量仪器对微探针共振频率进行...
- 刘梅李玉和林浩山廖小华
- 关键词：有限元法谐振频率
- 文献传递
- 超精表面缺陷检测的光学混频误差分析被引量：3
- 2015年
- 双频激光外差干涉法与扫描探针相结合的超精表面缺陷检测系统具有很高的分辨率。但系统光源和光学器件的各种误差因素会产生非线性混频误差,影响系统精确测量。利用琼斯矩阵分析了同时存在激光光源椭圆偏振化和方位角误差以及光学器件相位延迟和偏振泄漏等综合因素引起的偏振态变化,并由此研究了它们频率混叠产生的非线性误差。结果表明,由各种误差因素引起的非线性混频误差呈正弦规律变化,激光光源非理想和偏振分光镜对位移测量误差影响较大而1/4波片的影响较小。同时,结合计算结果对系统提出了减少非线性误差的方法措施。
- 林浩山陈举科李玉和李庆祥潘福东王力虎
- 关键词：外差干涉偏振光琼斯矩阵频率混叠
- 超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究被引量：16
- 2009年
- 超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编制图像处理与系统测试软件,并对标准样品进行实验,结果表明:样品粗糙度重复测量精度达2.8nm,测试系统具有抗干扰能力强、稳定性好等特点。
- 童晓蕾李玉和林浩山祁鑫
- 关键词：相移干涉粗糙度三维形貌
