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文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇多线切割机
  • 1篇液压
  • 1篇液压技术
  • 1篇油缸
  • 1篇速度同步控制
  • 1篇同步控制
  • 1篇推广应用
  • 1篇锥轮
  • 1篇稳定性
  • 1篇军民融合
  • 1篇军民融合发展
  • 1篇固有频率
  • 1篇CMP设备

机构

  • 5篇中国电子科技...
  • 1篇江西赛维LD...

作者

  • 5篇姜家宏
  • 2篇陈学森
  • 1篇张为强
  • 1篇吴旭
  • 1篇李伟
  • 1篇王广峰
  • 1篇田洪涛
  • 1篇杨师
  • 1篇王铮
  • 1篇江光辉
  • 1篇刘雪娇
  • 1篇丁鹏刚

传媒

  • 4篇电子工业专用...
  • 1篇科技资讯

年份

  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
CMP设备承载台关键技术研究
2015年
介绍了化学机械抛光设备中承载台机构的功能、结构组成,筛选合适的承载台材料,并通过运用MSC PARTRAN有限元软件对该机构进行模态分析,研究它的固有频率及振动特性,综合对比后,选择合适的方案,满足工艺过程的需求。
姜家宏王广峰李伟王铮
关键词:固有频率
新型多线切割机张力控制系统研究
2012年
分析了多线切割机的工作原理、组成结构及其工作过程。介绍了多线切割机的总体控制方案,并对多线切割机的张力控制系统进行深入地理论研究,建立了控制系统的运动学和动力学模型。在此基础上,提出了一种PID速度同步跟随控制方案。试验结果表明,该方案可靠、稳定、控制精度高、调整方便。
姜家宏陈学森丁鹏刚
关键词:多线切割机速度同步控制
多线切割机张力控制系统的分析与校正被引量:1
2016年
针对原多线切割机设计中控制系统稳定性差的问题,建立了张力控制系统的模型,分析了钢丝拉伸变形对于控制系统稳定性的影响,提出了新的用于产生钢丝张力的伺服电机的转矩控制方案,并通过理论分析和实际使用证明,改进后的控制方法有效提高了张力控制系统的稳定性,满足了设备的使用要求。
吴旭姜家宏田洪涛张为强
关键词:多线切割机稳定性
化学机械抛光技术军民融合发展及推广应用被引量:1
2016年
介绍了化学机械抛光设备的主要技术特点及功能,技术特点包括抛光盘制造及装配、抛光头压力控制、抛光液流量控制、抛光盘温度控制及晶片蜡粘与断电保护机构等;主要功能介绍了抛光头单独控制、自适应柔性承载器、外形及内部结构特点、人性化操作界面及自动控制程序等。说明了现阶段国内化学机械抛光设备的主要发展方向。
杨师姜家宏刘雪娇
液压技术在多线切割机收线轮装置中的应用
2013年
介绍了液压技术在多线切割机锥形收线轮系统中的应用,对液压油缸以及满足液压要求的收线轮主轴系统的主要结构和性能特点做了说明。
陈学森姜家宏江光辉
关键词:锥轮油缸
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