孙菁华
- 作品数：6 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院山西煤炭化学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 溶胶-凝胶法制备用于氟磷酸盐玻璃的氟化镁减反射膜被引量：4
- 2013年
- 以甲醇镁与氢氟酸为原料,用溶胶-凝胶法,在惰性气氛和常温常压条件下制备了稳定的MgF2溶胶。利用透射电子显微镜观察溶胶颗粒的形貌与尺寸,结果显示溶胶颗粒是由10nm左右的晶粒聚集而成。X射线衍射分析表明,凝胶粉末和薄膜为典型四方晶相结构的MgF2,晶粒尺寸为8.9nm。通过提拉法在精密加工的氟磷酸盐玻璃基底上制备MgF2减反射薄膜。采用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,膜层表面较平整,其均方根粗糙度最低为1.6nm。薄膜的紫外可见光谱测试表明膜层对氟磷酸盐玻璃基底具有较好光学减反效果,在351nm波长处透射率最高可增加6.49%,大大提高了氟磷酸盐玻璃的透射率。使用351nm脉冲(脉宽8ns)激光测试薄膜的激光损伤阈值,薄膜和基底的损伤阈值都高于35J.cm-2。
- 胡文杰贾红宝孙菁华丁瑞敏吴东徐耀
- 关键词：氟化镁溶胶-凝胶氟磷酸盐玻璃
- 高环境稳定性多孔氧化硅减反膜的制备及表征
- 2015年
- 以正硅酸乙酯为硅源,氨水为催化剂,采用溶胶凝胶法,经过提拉过程制备了多孔氧化硅光学减反膜,通过后嫁接十七氟癸基三乙氧基硅烷(FAS-17)和六甲基二硅氮烷(HMDS)提高薄膜的环境稳定性。采用紫外可见光谱仪、红外光谱仪、原子力显微镜和接触角仪等测试技术及抗污染实验分析了薄膜的性能。结果表明,改性后的薄膜光学透射率高达99.82%,表面粗糙度为3.9 nm,薄膜与水接触角达125°,在10^(-3)Pa真空环境下污染2个月后透射率仅降低0.03%,说明薄膜具有很高的环境稳定性。
- 孙菁华丁瑞敏张聪张策徐耀
- 关键词：溶胶凝胶法减反膜六甲基二硅氮烷
- 用于1053nm高功率脉冲激光的有序介孔减反射膜被引量：1
- 2012年
- 以非离子表面活性剂F127为模板,正硅酸乙酯为硅源,在酸性条件下合成胶体通过溶剂蒸发诱导自组装的方式制备了单层薄膜,经氨气预处理和高温煅烧除去模板剂后得到介孔氧化硅薄膜.利用同步辐射掠入射X射线衍射、氮气吸脱附和透射电子显微镜研究了薄膜的介观结构,发现薄膜内部呈现有序的笼型孔道结构,可归属于体心立方排列.通过紫外-可见光谱仪和椭偏仪研究了薄膜的光学性质,在1053 nm波长处光学透射率可达99.9%以上,折射率可依F127/Si摩尔比而变.采用原子力显微镜研究了薄膜的表面性质,薄膜表面平整,平均粗糙度仅为1.2 nm.使用1053 nm激光测试薄膜的激光损伤阈值,所有样品阈值均大于25 J·cm^(-2)(脉宽为1 ns).该薄膜制备方法有望成为一种大口径减反射膜制备新方法.
- 孙菁华徐耀晏良宏吕海兵袁晓东
- 关键词：有序介孔氧化硅减反射膜激光损伤阈值
- 利用透射光谱与X射线反射谱精确测量溶胶-凝胶TiO_2薄膜厚度和光学常数被引量：6
- 2012年
- 在洁净K9玻璃基底上沉积TiO2薄膜,将透射光谱和X射线反射光谱相结合分析获得膜层的厚度和光学常数。X射线反射谱拟合能精确得到膜层的厚度、电子密度及表面和界面粗糙度,其中膜层厚度的数值为透射光谱的分析提供了重要参考。基于Forouhi-Bloomer色散模型拟合膜层透射光谱,得到薄膜折射率和消光系数,理论曲线和实验曲线吻合良好。对于同一样品,两种光谱拟合分析得到的厚度数值非常接近,差值最大为4.9nm,说明两种方法的结合能够提高光学分析结果的可靠性。
- 贾红宝孙菁华徐耀吴东吕海兵晏良宏袁晓东
- 关键词：光学常数透射光谱
- X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数
- 2013年
- 采用溶胶-凝胶法在硅片基底上制备ZrO2薄膜,在150℃～750℃范围内不同温度下进行热处理,研究了热处理对膜层结构和光学性能的影响。X射线反射用于膜层厚度和界面粗糙度分析,结果表明热处理温度由150℃升至750℃,膜层厚度由常温状态下的112.3nm减小到34.0nm,表面和界面粗糙度均小于2nm。以X射线反射法测得的膜层厚度为初始值,对椭圆偏振仪的测量结果进行拟合,得到不同温度的膜层折射率,结果表明热处理温度为550℃时膜层折射率达到最大值。X射线反射作为直接的膜层厚度测试手段,所得结果为准确分析椭偏光谱提供了参考。
- 贾红宝孙菁华徐耀吴东吕海兵袁晓东
- 关键词：溶胶-凝胶二氧化锆
- 溶胶-凝胶法制备氧化硅光学减反射膜被引量：7
- 2013年
- 综述了溶胶-凝胶光学减反射膜的应用背景及光学原理,系统讨论了溶胶-凝胶氧化硅减反射膜的完整制备工艺以及薄膜在使用过程中的主要性能评价指标,最后展望了薄膜的未来发展趋势。
- 孙菁华吕海兵吴东徐耀袁晓东
- 关键词：溶胶-凝胶氧化硅高功率激光系统
